Zusammenfassung
In allen Anwendungsbereichen spielen definierte Materialien mit höchster chemischer Reinheit und idealer geometrischer Anordnung von Atomen eine zunehmend größere Rolle. Deren Einsatz ist essentiell für die Funktionsfähigkeit beispielsweise von mikrostrukturierten Bauelementen der Mikroelektronik oder Sensorik. Entsprechend der großen Variationsbreite unterschiedlicher Materialien und Strukturen gibt es eine Fülle unterschiedlicher Präparationsverfahren, auf die in diesem Kapitel nur beispielhaft eingegangen werden kann.
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Literatur
a) Rasterelektronenmikroskop-Aufnahmen von typischen Beispielen für Mikrostrukturen, die aus PMMA im Reaktionsgießverfahren hergestellt wurden [Вас 91]
b) Rasterelektronenmikroskop-Aufnahme einer Mikroturbine mit integriertem Faserführungsschacht und darin eingelegter Glasfaser zur Messung der Umdrehungsgeschwindigkeit (vgl. auch Abb. 4.4.10b) [Moh 91]
c) Neu entwickeltes Detektionssystem für ein Rasterkraft mikroskop (vgl. Abschn. 1.4.2) (Quelle: Institut für Mikrotechnik Mainz)
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© 1996 B. G. Teubner Verlagsgesellschaft Leipzig
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Göpel, W., Ziegler, C. (1996). Präparation definierter Materialien und Strukturen. In: Einführung in die Materialwissenschaften: Physikalisch-chemische Grundlagen und Anwendungen. Einführung in die Materialwissenschaften: Physikalisch-chemische Grundlagen und Anwendungen. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-93440-6_5
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DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-93440-6_5
Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag
Print ISBN: 978-3-8154-2111-6
Online ISBN: 978-3-322-93440-6
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