Einleitung

Zusammenfassung

Die Mikrosystemtechnologie (MST) ist eine junge technische Disziplin, die sich in einer sehr dynamischen Entwicklungsphase befindet, so daß eine für etablierte Wissenschaftsbereiche charakteristische kanonisierte Begriffs- bzw. Regelmenge noch nicht ausgebildet ist. Trotz zahlreicher Wachstumsschwierigkeiten versucht zur Zeit die schnell wachsende MST-Forschungsgemeinschaft pragmatisch vorzugehen und eine neue Forschungs- und Entwicklungsstrategie zu verfolgen, die den Weg zur Herstellung stark miniaturisierter Produkte ermöglichen soll. Dabei werden vor allem drei Grundziele verfolgt: Verbesserung funktionaler Eigenschaften eines Produkts (hohe Anzahl von Funktionen pro Volumen, erhöhte Zuverlässigkeit durch Wegfall von Steckern und Kabeln, kompakter Aufbau, hohe Flexibilität usw.), Ressourcen- und Energieeinsparung in der Herstellungs- und Nutzungsphase und als wichtigster Punkt schließlich die Erschließung völlig neuer, vorher unvorstellbarer Anwendungen. Allgemein betrachtet zielen aktuelle Entwicklungen der MST darauf ab, verschiedenste Funktionen auf kleinstem Raum zu realisieren.