Skip to main content
SpringerLink
Log in

Oberflächen-Elektronenmikroskopie

  • Chapter
Handbuch Festkörperanalyse mit Elektronen, Ionen und Röntgenstrahlen

  • 199 Accesses

Zusammenfassung

Parallel zur Durchstrahlungs-Elektronenmikroskopie, bei der eine Abbildung von Oberflächen nur mittelbar durch Anwendung der Abdruck- bzw. Dekorationstechnik möglich ist, werden in zunehmendem Maße elektronenoptische Verfahren zur Direktabbildung von Oberflächen eingesetzt. Als wichtigste Verfahren sind in diesem Zusammenhang die Oberflächen-Rasterelektronenmikroskopie, die Emissionsmikroskopie und die Spiegel-Elektronenmikroskopie zu nenen. Die Oberflächen-Rasterelektronenmikroskopie — im folgenden kurz als Raster-Elektronenmikroskopie (REM) bezeichnet— bietet dabei mit Abstand die universellsten Einsatzmöglichkeiten.

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this chapter

Log in via an institution
Chapter
USD 29.95
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
eBook
USD 49.99
Price excludes VAT (USA)
  • Available as PDF
  • Read on any device
  • Instant download
  • Own it forever
Softcover Book
USD 84.99
Price excludes VAT (USA)
  • Compact, lightweight edition
  • Dispatched in 3 to 5 business days
  • Free shipping worldwide - see info

Tax calculation will be finalised at checkout

Purchases are for personal use only

Institutional subscriptions

Preview

Unable to display preview. Download preview PDF.

Unable to display preview. Download preview PDF.

Literatur

Übersichtsliteratur

  1. Thornton, P. R.: Scanning Electron Microscopy. Chapman and Hall, London, 1968.

    Google Scholar 

  2. Wells, O. C.: Scanning Electron Microscopy. McGraw-Hill Book Company, New York, 1974.

    Google Scholar 

  3. Holt, D. B., Muie, M. D., Grant, P. R., and Boswarva, I. M. (Ed.): Quantitative Scanning Electron Microscopy. Academic Press, London, Hew York, San Francisco, 1974.

    Google Scholar 

  4. Goldstein, J. I., and Yakowitz, H.: Practical Scanning Electron Microscopy (Ed.). Plenum Press, New York and London, 1975.

    Book  Google Scholar 

  5. Proceedings of the Annual Scanning Electron Microscope Symposium, IITRI, Chicago, 1968–1979, Sponsored by the IIT Research Institute Chicago, Illinois, USA.

    Google Scholar 

  6. Reimer, L., und Pfefferkorn, G.: Rasterelektronenmikroskopie. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York, 1977.

    Book  Google Scholar 

  7. Möllenstedt, G., Lenz, F.: Electron Emission Microscopy, in: Advances in Electronics, Vol. 13, Academic Press New York, 1963, p. 251.

    Google Scholar 

  8. Bok, A. B., et al.: Mirror Electron Microscopy, in: Advances in Optical and Electron Microscopy (Eds. R. Barer, V. E. Cosslett), Academic Press, London and New York, 1971, p. 1

    Google Scholar 

  9. Seiler, H.: Abbildung von Oberflächen. Bibliograph. Institut Mannheim/Zürich, 1968.

    Google Scholar 

  10. Magnan, C. (Ed.): Traité de microscopie électronique, Tome I. Hermann, Paris 1961.

    Google Scholar 

  11. Pfefferkorn, G. (Ed.): Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberfl., Münster, 1968-1979.

    Google Scholar 

Originalliteratur

  1. Welter, L. M., und Mc Kee, A. N., Proc. 5th Ann. SEM Sympos. IITRI, Chicago (1972) 161.

    Google Scholar 

  2. Booker, G. R., U. a., Phil. Mag. 16 (1967) 1185.

    Article  Google Scholar 

  3. Langmuir, D. B., Proc. IRE 25 (1937) 977.

    Article  Google Scholar 

  4. Wells, O. C., U. a., Scanning Electron Microscopy, McGraw-Hill, New York, 69ff. (1974).

    Google Scholar 

  5. Oatley, C. W., Nixon, W. C., und Pease, R. F. W., Adran. Electron. Electron Phys. 21 (1965) 181.

    Article  Google Scholar 

  6. Thornton, P. R., Scanning Electron Microscopy, Chapman and Hall Lfd., London (1968) 195ff.

    Google Scholar 

  7. Everhart, T. E., Ph. D. Thesis, Cambridge,(1958).

    Google Scholar 

  8. Seiler, H., Z. Angew. Physik 22 (1967) 249.

    Google Scholar 

  9. Wright, D. A., Encyclop. Dictionary of Physics 6 (1962) 424.

    Google Scholar 

  10. Whetten, N. R., Methods of Experimental Physics IV, Part A, Atomic and Electron Physics (1967) 69.

    Google Scholar 

  11. Seiler, H., Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberfl. 1 (1968) 27.

    Google Scholar 

  12. Kollath, R., Hdb. d. Physik 21 (1956) 232.

    Google Scholar 

  13. Kanter, H., Phys. Rev. 121 (1961) 681.

    Article  Google Scholar 

  14. Broers, A. N., Rev. Sci. Instr. 40 (1969) 1040.

    Article  Google Scholar 

  15. Trump, J. G., und Van De Graaff, R. J., Phys. Rev. 75 (1949) 44.

    Article  Google Scholar 

  16. Everhart, T. E., Wells, O. C., und Oatley, C. W., J. Electronics and Control 7 (1959) 97.

    Article  Google Scholar 

  17. Weinryb, E., und Philibert, J., Comp. Rend. 258 (1964) 4535.

    Google Scholar 

  18. Sternglass, E. J., Phys. Rev. 80 (1950) 925.

    Article  Google Scholar 

  19. Driver, M. C., Proc. 2nd Ann. SEM Symposium, IITRI, Chicago (1969) 403.

    Google Scholar 

  20. Fathers, D. J., Joy, D. C., und Jakubovics, J. P., 6th Ann. SEM Sympos., IITRI, Chicago (1973) 259.

    Google Scholar 

  21. Seiler, H., und Stark, M., Z. Angew. Phys. 183 (1965) 527.

    Google Scholar 

  22. Dekker, A. J., Phys. Rev. 94 (1954) 1179.

    Article  Google Scholar 

  23. VAN Essen, C. G., und Schulson, E. M., J. Mat. Sci. 4 (1969) 336.

    Article  Google Scholar 

  24. Chang, C. C., Surface Sci. 25 (1971) 53.

    Article  Google Scholar 

  25. Sternglass, E. J., Phys. Rev. 95 (1954) 345.

    Article  Google Scholar 

  26. Bishop, H. E., Fourth Cong. Int. X-Ray Opt. Micr., Orsay, Hermann, Paris (1966) 153.

    Google Scholar 

  27. Kanter, H., Ann. Phys. (Leipzig) 20 (1957) 144.

    Article  Google Scholar 

  28. Bethe, H. A., Ann. Phys. (Leipzig) 5 (1930) 325.

    Article  MATH  Google Scholar 

  29. Whiddington, R., Proc. Roy. Soc. London A. 86 (1912) 360.

    Article  Google Scholar 

  30. Whiddington, R., Proc. Roy. Soc. London A. 89 (1914) 554.

    Article  Google Scholar 

  31. Cosslett, V. E., und Thomas, R. N., Brit. J. Appl. Phys. 15 (1964) 1283.

    Article  Google Scholar 

  32. Bethe, H. A., Rose, M. E., und Smith, L. P., Proc. Amer. Phil. Soc. 78 (1938) 573.

    Google Scholar 

  33. Archard, G. D., J. Appl. Phys. 32 (1961) 1505.

    Article  Google Scholar 

  34. Everhart, T. E., J. Appl. Phys. 31 (1960) 1483.

    Article  Google Scholar 

  35. Shimizu, R., und Murata, K., J. Appl. Phys. 42 (1971) 387.

    Article  Google Scholar 

  36. Shenoda u. a., Technol. Rep. Osaka Univ. 16 (1966) 423.

    Google Scholar 

  37. Wells, O. C., Proc. 5th Ann. SEM Symposium, IITRI, Chicago (1972) 169.

    Google Scholar 

  38. Wells, O. C., u.a., Scanning Electron Microscopy, McGraw-Hill, Hew York (1974) 52ff.

    Google Scholar 

  39. Yakowitz, H., Eiori, C. E., und Newbury, D. E., 6th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1973) 173.

    Google Scholar 

  40. Holt, D. B., und Culpan, M., J. Mater. Sci. 5 (1970) 546.

    Article  Google Scholar 

  41. Kimoto, S., JEOL News 10e (1972) 2.

    Google Scholar 

  42. Wittry, D. B., und Kyser, D. F., J. Appl. Phys. 35 (1964) 2439, ibid 86 (1965) 1387.

    Article  Google Scholar 

  43. Thornton, P. R., Scanning Electron Microscopy, Chapman and Hall Lfd., London (1968) 246ff.

    Google Scholar 

  44. Ehrenberg, W., Lang, C. S., und West, R., Proc. Phys. Soc. (London), A, 64 (1951) 424.

    Article  Google Scholar 

  45. Miyazaki, E., Maeda, H., und Miyaji, K., in: „Advances in Electronics and Electron Physics“ (L. Marton, ed.) 22 A (1966) 331, Academic Press, London and New York.

    Google Scholar 

  46. Czaja, W., und Patel, J. R., J. Appl. Phys. 36 (1965) 1476.

    Article  Google Scholar 

  47. Nicolas, D. P., 7th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1974) 955.

    Google Scholar 

  48. Coates, D. G., Phil. Mag. 16 (1967) 1179.

    Article  Google Scholar 

  49. Hirsch, P. B., und Humphreys, C. J., 3d Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1970) 449.

    Google Scholar 

  50. Spencer, J. P., Humphreys, C. J., und Hirsch, P. B., Phil. Mag. 26 (1972) 193.

    Article  Google Scholar 

  51. Brüche, E., und Johannson, H., Naturwissenschaften 20 (1932) 353.

    Article  Google Scholar 

  52. Brüche, E., und Johannson, H., Ann. Phys. Leipzig 15 (1932) 145.

    Article  Google Scholar 

  53. Recknagel, A., Z. Phys. 117 (1941) 689.

    Article  MathSciNet  MATH  Google Scholar 

  54. Boersch, H., Z. Techn. Phys. 23 (1942) 129.

    Google Scholar 

  55. Mahl, H., Ann. Phys. Leipzig 31 (1938) 425.

    Article  Google Scholar 

  56. Brüche, E., Z. Phys. 86 (1933) 448.

    Article  Google Scholar 

  57. Wiskott, D., Optik 13 (1956) 463.

    MathSciNet  Google Scholar 

  58. Sedov, N., J. Micr. 9 (1970) 1.

    Google Scholar 

  59. Wiskott, D., Optik 18 (1956) 489.

    Google Scholar 

  60. Knoll, M., Z. Techn. Phys. 11 (1935) 467.

    Google Scholar 

  61. Ardenne, M. Von, Z. Techn. Phys. 19 (1938) 407.

    Google Scholar 

  62. Oatley, C. W., Sci. Progr. (London) 54 (1966) 483.

    Google Scholar 

  63. Yew, N. C., Proc. 4th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1971) 33.

    Google Scholar 

  64. Lafferty, J. M., J. Appl. Phys. 22 (1951) 299.

    Article  Google Scholar 

  65. Broers, A. N., Proc. 7th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1974) 9

    Google Scholar 

  66. Crewe, A. V., U. a., Rev. Sci. Instr. 39 (1968) 576.

    Article  Google Scholar 

  67. Crewe, A. V., Q. Rev. Riophys. 3 (1970) 137.

    Article  Google Scholar 

  68. Rfsea, E., Naturwiss. Rundschau 17 (1964) 125.

    Google Scholar 

  69. Wells, O. C., Proe. 7th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1974) 1.

    Google Scholar 

  70. Everhart, T. E., und Thornley, R. F. M., J. Sci. Instr. 37 (1960) 246.

    Article  Google Scholar 

  71. Practical Scanning Electron Microscopy (Hrsg. J. I. Goldstein und H. Yakowitz), Plenum Press, New York und London (1975) 100.

    Google Scholar 

  72. Crewe, A. V., Isaacson, M., und Johnson, D., Rev. Sci. Instr. 41 (1970) 20.

    Article  Google Scholar 

  73. Hörl, E. M., und Mügschl, E., Proc. Vth Europan Congr. Electron Microscopy (1972) 502.

    Google Scholar 

  74. Steyn, J. B., und Holt, D. R., Proc. SEM 73, Institute of Physics, London (1973).

    Google Scholar 

  75. Muir, M. D., u. a., Proc. 4th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1971) 401.

    Google Scholar 

  76. Fiori, C. E., Yakowitz, H., und Newbury, D. E., Proc. 7th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1974) 167.

    Google Scholar 

  77. Quantitative Scanning Electron Microscopy (Hrsg. D. R. Holt U. a.), Academic Press, London, New York and San Francisco (1974) 124.

    Google Scholar 

  78. Mac Donald, N. C., Robinson, G. V., und White, R. M., J. Appl. Phys. 40 (1969) 4516.

    Article  Google Scholar 

  79. Gopinath, A., und Hill, M. S., I.E.E.E. Transaction on Electron Devices, ED-20 (1973) 609.

    Google Scholar 

  80. Takashima, S., und Yamamoto, T., JEOL News 11e (1973) 23.

    Google Scholar 

  81. Bach, H., U. a., Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberfl. 412 (1972) 363.

    Google Scholar 

  82. Christenhuss, R., und Bode, M., Beiträge elektronenmikr. Direktabb. Oberfl. 1 (1968) 177.

    Google Scholar 

  83. Pfefferkorn, G., Desler, H., und Blaschke, R., Beitr. elektronenmikr. Direktabb. Oberfl. 1 (1968) 165.

    Google Scholar 

  84. Müller, H.: Präparation von technisch-physikalischen Objekten für die elektronenmikroskopische Untersuchung, Akademische Verlagsgesellschaft Geest & Portig KG, Leipzig 1962, 254–318.

    Google Scholar 

  85. Pfefferkorn, G. E., 6th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1973) 751.

    Google Scholar 

  86. Grasenick, F., Jakopic, E., und Waltinger, H., Naturwissenschaften 59 (1972) 362.

    Article  Google Scholar 

  87. Ardenne, M. VON, und Heisig, U., Exp. Techn. Phys. 11 (1963) 2.

    Google Scholar 

  88. Möllenstedt, G., und Düker, H., Optik 10 (1953) 192.

    Google Scholar 

  89. Bartz, G., Proc. 4. Int. Conf. El. Micr. Berlin 1958, S. I/201.

    Google Scholar 

  90. Pohl, J., Z. Techn. Phys. 15 (1934) 579.

    Google Scholar 

  91. Mahl, H., und Pohl, J., Z. Techn. Phys. 16 (1935) 219.

    Google Scholar 

  92. Koch, W., Z. Phys. 152 (1958) 1.

    Article  Google Scholar 

  93. Graber, R., Gribi, M., Wegmann, L., Proc. 4. Europ. Reg. Conf. El. Micr., Rom 1968, p. 111.

    Google Scholar 

  94. Bethge, H., Eggert, H., und Herbold, K., Proc. 4. Int. Conf. El. Micr. Berlin 1958, S. I/217.

    Google Scholar 

  95. Soa, E.-A., Jenaer Jahrbuch 1963/II, S. 427.

    Google Scholar 

  96. Aeschlimann, R., und Bas, E., Proc. 5. Int. Conf. El. Micr. Philadelphia 1962, D-9.

    Google Scholar 

  97. Hottenroth, G., Ann. Phys. Leipzig 30 (1937) 689.

    Article  Google Scholar 

  98. Orthuber, R., Z. Angew. Phys. 1 (1948) 79.

    Google Scholar 

  99. Bartz, G., Weissenberg, G., Wiskott, D., Phys. Verh. 3 (1952) 108.

    Google Scholar 

  100. Mayer, L., J. Appl. Phys. 26 (1955) 1228.

    Article  Google Scholar 

  101. Bethge, H., Hellgardt, J., Heydenreich, J., Exp. Techn. Phys. 8 (1960) 49.

    Google Scholar 

  102. Spivak, G. V., et al., Izv. AN SSSR, Ser. fiz. 25 (1961) 683.

    Google Scholar 

  103. Archard, G. D., und Mulvey, T., J. Sci. Instrum. 35 (1958) 279.

    Article  Google Scholar 

  104. Mayer, L., Rickett, R., und Stenemann, H., Proc. 5. Int. Congr. El. Micr. Philadelphia 1962, D-10.

    Google Scholar 

  105. Schwartze, W., Exp. Techn. Phys. 14 (1966) 293.

    Google Scholar 

  106. Bok, A. B., Thesis Delft, 1968.

    Google Scholar 

  107. Bethge, H., Heydenreich, J., Exp. Techn. Phys. 19 (1971) 375.

    Google Scholar 

  108. Wells, O. C., U. a., Scanning Electron Microscopy, McGraw-Hill, New York (1974) 223ff.

    Google Scholar 

  109. Olivei, A., Optik 36 (1972) 454.

    Google Scholar 

  110. Dörfler, G., Beitr. elektronenmikroskop. Direktabb. Oberfl. 2 (1969) 161.

    Google Scholar 

  111. Ravi, K. V., und Varker, C. J., J. Appl. Phys. 45 (1974) 263 u. 272.

    Article  Google Scholar 

  112. Meieran, E. S., Crosthwait, D. L., und Davaney, J. R., 8th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1975) 715.

    Google Scholar 

  113. Varker, C. J., und Ehlenberger, G., 4th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1971) 441.

    Google Scholar 

  114. Wittry, D. B., und Kyser, D. F., J. Appl. Phys. 38 (1967) 375.

    Article  Google Scholar 

  115. Michel, C., Philips Techn. Rdsch. 36 (1976/77) 18.

    Google Scholar 

  116. Aven, M., u. a., J. Appl. Phys. 43 (1972) 4136.

    Article  Google Scholar 

  117. Holt, D. B., und Chase, B. D., Phys. stat. sol. (a) 20 (1973) 135.

    Article  Google Scholar 

  118. Lushchik, N. T., u. a., J. Luminescence 1, 2 (1970) 348.

    Article  Google Scholar 

  119. Becker, R., Theory and Interpretation of Fluorescence and Phosphorescence, Wiley, New York (1969).

    Google Scholar 

  120. Radford, W. E., Hagston, W. E., und Bryant, F. J., J. Luminescence 5 (1972) 47.

    Article  Google Scholar 

  121. Williams, P. M., und Yoffe, A. D., Radation Effects 9 (1971) 139.

    Article  Google Scholar 

  122. Booker, G. R., und Stickler, R., J. Mater. Sci. 7 (1972) 712.

    Article  Google Scholar 

  123. Joy, D. C., und Newbury, D. E., J. Mater. Sci. 7 (1972) 714.

    Article  Google Scholar 

  124. Wolf, E. D., und Hunsperger, R. G., Appl. Phys. Lett. 16 (1970) 26.

    Article  Google Scholar 

  125. Stickler, R., Hughes, C. W., und Booker, G. R., Proc. 4th Ann. SEM Symp., IITRI, Chicago (1971) 473.

    Google Scholar 

  126. Schulson, E. M., J. Mater. Sci. 6 (1971) 377.

    Article  Google Scholar 

  127. Schulson, E. M., und VAN Essen, C. G., J. Sci. Instr. 2 (1969) 247.

    Article  Google Scholar 

  128. Soa, E. A., Exp. Techn. Phys. 13 (1965) 9.

    Google Scholar 

  129. Fagot, B. und Fert, Ch., C. R. Acad. Sci. Paris 258 (1964) 1180.

    Google Scholar 

  130. Spivak, G., V., et al., Radiotechn. i Elektronika 11 (1966) 1904.

    Google Scholar 

  131. Rehme, H., Optik, Stuttgart 29 (1969) 311.

    Google Scholar 

  132. Igras, E., Proc. Int. Conf. Semicond., Exeter 1962, p. 832.

    Google Scholar 

  133. Mayer, L., J. Appl. Phys. 28 (1957) 259.

    Article  Google Scholar 

  134. Heydenreich, J., und Vester, J., Krist. Techn. 9 (1974) 107.

    Article  Google Scholar 

  135. Heydenreich, J., Godehardt, R., Vester, J., Krist. Techn. 13 (1978) 355.

    Article  Google Scholar 

Ergänzung während der Drucklegung

  1. Hosokawa, T., Fujioka, H., Ura, K., Rev. Sci. Instrum. 49 (1978) 1293.

    Article  Google Scholar 

  2. Gopinath, A., Gopinathan, K. G., IEEE Trans. Electron. Devices ED 25 (1978) 431.

    Article  Google Scholar 

  3. Fujioka, H., Hosokawa, T., Kanda, Y., Ura, K., Proc. SEM Symp., IITRI, Chicago 1978, Vol. I, 755.

    Google Scholar 

  4. Petroff, P. M., Lang, D. V., Strudel, J. L., Logan, R. A., Proc. SEM Symp., IITRI, Chicago 1978, Vol. I, 325.

    Google Scholar 

  5. Lang, D. V., J. Appl. Phys. 45 (1974) 3023.

    Article  Google Scholar 

  6. Lefèvre, H., Schulz, M., IEEE Trans. Electron. Devices ED-24 (1977) 973.

    Article  Google Scholar 

Download references

Author information

Authors and Affiliations

  1. Halle, Deutschland

    J. Heydenreich & H. Johansen

Authors
  1. J. Heydenreich
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

  2. H. Johansen
    View author publications

    You can also search for this author in PubMed Google Scholar

Editor information

Otto Brümmer Johannes Heydenreich Karl Heinz Krebs Helmut Günther Schneider

Rights and permissions

Reprints and permissions

Copyright information

© 1979 VEB Deutscher Verlag der Wissenschaften, Berlin

About this chapter

Cite this chapter

Heydenreich, J., Johansen, H. (1979). Oberflächen-Elektronenmikroskopie. In: Brümmer, O., Heydenreich, J., Krebs, K.H., Schneider, H.G. (eds) Handbuch Festkörperanalyse mit Elektronen, Ionen und Röntgenstrahlen. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-83622-9_11

Download citation

  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-83622-9_11

  • Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag

  • Print ISBN: 978-3-528-08398-4

  • Online ISBN: 978-3-322-83622-9

  • eBook Packages: Springer Book Archive

Publish with us

Policies and ethics

Search

Navigation