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Sorptionspumpen

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Theorie und Praxis der Vakuumtechnik

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Zusammenfassung

Unter Sorptionspumpen versteht man Anordnungen, bei denen an geeigneten Oberflächen auftreffende Gasteilchen durch Sorption (vgl. Kapitel 3) gebunden werden. Dadurch wird der Gasdruck im Behälter vermindert. Sorptionspumpen wirken also als Gasfalle, ohne daß das Gas wie bei einer eigentlichen „Pumpe“ durch die Pumpe gefördert wird. Sorptionspumpen finden vor allem dann Anwendung, wenn es darauf ankommt, jede Verunreinigung des Vakuums durch Fremdstoffe wie Treib-, Schmier- oder Dichtmitteldämpfe auszuschließen. Man setzt Sorptionspumpen im ganzen Vakuumdruckbereich ein, um kohlenwasserstofffreies Vakuum zu erzeugen, vor allem aber in der UHV-Technik. Nach ISO 3529/II [1] unterscheidet man (Tabelle 8.1) Adsorptionspumpen (8.1), Getterpumpen1) (8.2.5), Verdampferpumpen (8.2.5.2) und Ionengetterpumpen (8.2.6), bei denen wieder zwischen Ionenver-dampferpumpen (8.2.6.1) und Ionenzerstäuberpumpen (8.3) unterschieden wird. Über Kryosorptionspumpen siehe Abschnitt 10.6.1.2.

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Literatur

  1. ISO 3529/II — Vakuumtechnik; Verzeichnis von Fachausdrücken und Definitionen. Teil II: Vakuumpumpen und verwandte Begriffe, 1975.

    Google Scholar 

  2. Grubner D. M., u.a., Molekularsiebe. VEB Deutscher Verlag der Wissenschaften, Berlin 1968.

    Google Scholar 

  3. Dobrozemsky R., Vakuum-Technik 22 (1973), 41 48.

    Google Scholar 

  4. Visser J. und J. J. Scheer, Ned. Tijdschrift Vac. Techn. 11 (1973), 17 25.

    Google Scholar 

  5. Turner F. T. und M. Feinleib, Transact, of the English Nat. Vac. Symp., Pergamon Press, 1961, pp. 300–306. Stern, S. A. und F. S. Paolo, Vac. Sci. [ Techn. 4 (1967), 347 355.

    Google Scholar 

  6. Windsor E. E., „Physik und Technik von Sorptions-und Desorptionsvorgängen bei niederen Drücken“, Rudolf A. Lang Verlag, 1963, 278–283.

    Google Scholar 

  7. Creek D. M., et al., J. Sci. Instr. (J. Phys. E) 2 (1968), 582–584.

    Google Scholar 

  8. Miller H. C, J. Vac. Sci. Techn. 10 (1973), 859–0861.

    Article  Google Scholar 

  9. Porta P. della, J. Vac. Sci. Techn. 9 (1972), 532–538.

    Article  Google Scholar 

  10. Kienel G. und A. Lorenz, Vakuum-Technik 9 (1960), 1–6.

    Google Scholar 

  11. Wagener S., Z. angew. Physik 6 (1954), 433–442.

    Google Scholar 

  12. Gupta A. K. und. H. Leck, Vacuum 25 (1975), 362–372.

    Article  Google Scholar 

  13. Elsworth L., et al., Vacuum 15 (1965), 337–345.

    Article  Google Scholar 

  14. Lückert, J., Vakuum-Technik 10 (1961), 1 und 40.

    Google Scholar 

  15. Ehrke L. F. und C. M. Slack, J. Appl. Phys. 28 (1957), 1027–1030.

    Article  Google Scholar 

  16. McCracken, A. M. und N. A. Pashley, J. Vac. Sci. Techn. 3 (1966), 96–98.

    Article  Google Scholar 

  17. Davis R. H. und A. S. Divatia, Rev. Sci. Instr. 25 (1954), 1193.

    Article  Google Scholar 

  18. Douglas R. A. et al., Rev. Sci. Instr. 36 (1965), 1–6.

    Article  Google Scholar 

  19. Penning F. M., Physica IV.2 (1937), 71–75, Philips Techn. Rundschau 2 (1937), 201-208.

    Article  Google Scholar 

  20. Hall L. D., Rev. Sci. Instr. 29 (1958), 367–370.

    Article  Google Scholar 

  21. Knauer W., J. Appl. Phys. 33 (1961), 2093–2099.

    Article  Google Scholar 

  22. Schuurman W., Rijnhuizen-Report 66–28 (1966), Universität Utrecht.

    Google Scholar 

  23. Falland C. H. et al., Proc. 6th Intern. Vacuum Congr. 1974, Japan. J. Appl. Phys., Supp. 2 Pt 1, 1974, 209–216.

    Google Scholar 

  24. ISO/DIS 3556/I-1974, Ionenzerstäuberpumpen, Messung der Leistungsdaten, Teil I. PNEUROP, Abnahmeregeln — Vakuumpumpen; Teil 4 — Ionengetterpumpen — 1978.

    Google Scholar 

  25. Fischer E. und H. Mommsen, Vacuum 17 (1967), 309–315.

    Article  Google Scholar 

  26. Brubaker W. M., Transact, of the 6th Nat. Vac. Symp. 1959; Pergamon Press, 302–306.Vaumoran, J. A. und M. P. Biasio, Vacuum 20 (1970), 109-111.

    Google Scholar 

  27. Singleton J. H., J. Vac. Sci. Techn. 8 (1971), 275–282.

    Article  Google Scholar 

  28. Henning H., Vakuum-Technik 24 (1975), 37 43.

    Google Scholar 

  29. [28a] Bance, U. R. und R. D. Craig, Vacuum 16 (1966), 647–652.

    Article  Google Scholar 

  30. Jepsen R. L., Proc. of the Fourth Intern. Vac. Congress, Mancheser, 1968, 317–324. Inst, of Physics, Conference Series No. 5, London.

    Google Scholar 

  31. Oechsner, H., Z. Naturf. 21a (1966), 859.

    Google Scholar 

  32. Strubin P., J: Vac. Sci. Techn. 17 (1980), 1216–1220.

    Article  Google Scholar 

  33. Blechschmidt D. und W. Unterlechner, Vakuum-Technik 28 (1979), 130–135.

    Google Scholar 

  34. Henning H., Proc. 8. Intern. Vac. Congress, Cannes 1980, Suppl. Rev., “Le Vide”, Nr. 201, Bd. 2, 143–146.

    Google Scholar 

  35. Pingel H. und L. Schulz, ibid., 147–150.

    Google Scholar 

  36. Blechschmidt D., et al., ibid., 159–163.

    Google Scholar 

  37. Giorgi T. A. et al, J. Vac. Sci. Techn. A3 (1985), 417–423.

    Google Scholar 

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  1. Max Wutz
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  2. Hermann Adam
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  3. Wilhelm Walcher
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Wutz, M., Adam, H., Walcher, W. (1988). Sorptionspumpen. In: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-83543-7_8

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-83543-7_8

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