Zusammenfassung
Keine Vakuumapparatur oder -anläge kann erwartungsgemäß funktionieren, wenn sie nicht aus richtig ausgewählten und richtig bearbeiteten Werkstoffen besteht. Die Ansprüche an die Werkstoffe, an deren Bearbeitung und Vorbehandlung werden um so größer, je niedriger der Druck ist, bei dem die Anlage arbeiten soll. In diesem Abschnitt werden die für die Vakuumtechnik wichtigsten Werkstoffe behandelt, insbesondere wird auf Gasdurchlässigkeit und Gasabgabe eingegangen. In der Praxis verwendete und bewährte Rezepte zur Oberflächenbehandlung, Reinigung und Entgasung sind der in Abschnitt 13.5 angegebenen Literatur zu entnehmen.
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Literatur
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© 1988 Friedr. Vieweg & Sohn Verlagsgesellschaft mbH, Braunschweig
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Wutz, M., Adam, H., Walcher, W. (1988). Werkstoffe. In: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-83543-7_13
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Print ISBN: 978-3-528-24884-0
Online ISBN: 978-3-322-83543-7
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