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Dünnschicht-Depositionstechniken

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Solarzellen
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Zusammenfassung

Bereits im Altertum wußte der Mensch dünne Schichten, deren Dicken so gering sind, daß ihr physikalisches Verhalten stark von dem einer massiven Probe gleichen Materials abweicht, zu nutzen.

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Literatur

  1. Schade, K., Suchaneck, G., Tiller, H.-J.: Plasmatechnik - Anwendung in der Elektronik. Verlag Technik, Berlin, 1990

    Google Scholar 

  2. Chopra, L.K., Das, S.R.: Thin film solar cells. Plenum Press, N.-Y. - London, 1983

    Google Scholar 

  3. Zarowin, C.B.: A theory of plasma-assisted transport processes. J. Appl. Phys. 57 (1985)3.- S.929–942

    Google Scholar 

  4. Haefner, R.A.: Oberflächen-und Dünnschichttechnologie. Teil I: Beschichtungen von Oberflächen. Springer, Berlin-Heidelberg, 1987 Teil II: Oberflächenmodifikation durch Teilchen und Quanten. Springer, Berlin-Heidelberg, 1991

    Google Scholar 

  5. Pitt, K.E.G.: Dickfilmtechnik. Franzis-Verlag, München, 1983

    Google Scholar 

  6. Thin film processes II./Eds. J.L. Vossen, W. Kern. Academic Press, London, 1991

    Google Scholar 

  7. Sputtering by particle bombardment I./Ed. R. Behrisch, Topics in Applied Physics, Vol. 47. Springer, Berlin-Heidelberg, 1981

    Google Scholar 

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© 1993 Friedr. Vieweg & Sohn Verlagsgesellschaft mbH, Braunschweig/Wiesbaden

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Schade, K., Suchaneck, G. (1993). Dünnschicht-Depositionstechniken. In: Meissner, D. (eds) Solarzellen. Vieweg+Teubner Verlag. https://doi.org/10.1007/978-3-322-83112-5_7

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/978-3-322-83112-5_7

  • Publisher Name: Vieweg+Teubner Verlag

  • Print ISBN: 978-3-528-06518-8

  • Online ISBN: 978-3-322-83112-5

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