Abstract
Approximately up to the year 1970 integrated circuits were realized mainly in bipolar technology. Though the basics of MOS technology already were known, the reproducibility of the threshold voltages of MOS-Field Effect Transistors (MOSFET) was insufficient. The problem could be solved, however, with the breakthrough of the ionimplantation technology. Since that time MOS is the dominating technology for the production of integrated circuits.
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Clauss, H. (2003). Semiconductor Process Technologies. In: Jansen, D. (eds) The Electronic Design Automation Handbook. Springer, Boston, MA. https://doi.org/10.1007/978-0-387-73543-6_19
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