This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.
Access this chapter
Tax calculation will be finalised at checkout
Purchases are for personal use only
References
H.S. Cole, Y.S. Liu, J.W. Rose, et al.: Appl. Phys. Lett. 53(21), 2111–2113 (1988)
A. Bauer, J. Ganz, K. Hesse, et al.: Applied Surface Science 46, 113–120 (1990)
O. Dupuis, J.P. Soumillion, et al.: Applied Surface Science 62, 269–276 (1992)
J. Ganz, E. Köhler: Metall 45(1), 18–23 (1991)
B. Chrisey, A. Pique, J. Fitz-Gerald, et al.: Applied Surface Science 154–155, 593–600 (2000)
S. Beil: “Photochemische Funktionalisierung von Polymeroberflächen zur ortsselektiven Metallisierung”, Aachen: Shaker, 2000. ISBN 3-8265-7268-8, Aachen, RWTH, Fakultät für Maschinenwesen, Dissertation (2000)
K.J. Schmatjko: Industrie Anzeiger 111(99), 39–43 (1989)
G.A. Shafeev, L. Bellard, J.M. Themlin, et al.: Surface and Coatings Technology 80(1-2), 224–228 (1996)
K. Körber: “Lokale Metallisierung von AlN-Keramik mittels Laserstrahlung”, Düsseldorf: VDI-Verlag, 2002. ISBN 3-18-361802-8, Hannover, University, Fachbereich Maschinenbau, Dissertation, (2002)
Editor information
Editors and Affiliations
Rights and permissions
Copyright information
© 2005 Springer-Verlag Berlin Heidelberg
About this chapter
Cite this chapter
Körber, K. (2005). Activation and Metallization of Dielectrics. In: Basting, D., Marowsky, G. (eds) Excimer Laser Technology. Springer, Berlin, Heidelberg. https://doi.org/10.1007/3-540-26667-4_25
Download citation
DOI: https://doi.org/10.1007/3-540-26667-4_25
Publisher Name: Springer, Berlin, Heidelberg
Print ISBN: 978-3-540-20056-7
Online ISBN: 978-3-540-26667-9
eBook Packages: Physics and AstronomyPhysics and Astronomy (R0)