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Untersuchungen an dünnen Schichten

  • Lothar SpießEmail author
  • Gerd Teichert
  • Robert Schwarzer
  • Herfried Behnken
  • Christoph Genzel
Chapter

Zusammenfassung

Bei der Untersuchung von dünnen Schichten liegt weniger kristallines Material vor als bei der üblichen Pulverdiffraktometrie. So übersteigt die Eindringtiefe der Röntgenstrahlung bei dünnen Schichten deren Schichtdicke um ein Vielfaches. Damit ist das »Angebot an beugungsfähigen Körnern« stark eingeschränkt. Je nach Schichtart, d. h. amorph, polykristallin, einkristallin oder epitaktisch sind jeweils andere Betonungen auf die Untersuchungsanordnung und Messstrategie des Beugungsexperimentes zu legen. Eine Sammlung von Anwendungen und Darstellungen für Schichten sind in [207] zusammengefasst.

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© Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, ein Teil von Springer Nature 2019

Authors and Affiliations

  • Lothar Spieß
    • 1
    Email author
  • Gerd Teichert
    • 2
  • Robert Schwarzer
    • 3
  • Herfried Behnken
    • 4
  • Christoph Genzel
    • 5
  1. 1.TU IlmenauIlmenauDeutschland
  2. 2.MFPA WeimarWeimarDeutschland
  3. 3.TU ClausthalClausthal-ZellerfeldDeutschland
  4. 4.Acess e.V. AachenAachenDeutschland
  5. 5.Helmholz-Zentrum BerlinBerlinDeutschland

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