Advertisement

Reinraum – Prozessplanung und -betrieb

  • Guido Kreck
  • Christian Ernst
Chapter
Part of the VDI-Buch book series (VDI-BUCH)

Zusammenfassung

In Industriebranchen, die auf Reinheit angewiesen sind, bilden Reinräume die Kernzentren der Produktion und stehen deshalb bei der Planung im Fokus. Kontaminationsbedingte Ausfallzeiten stellen dabei ein besonderes Risiko dar, das im laufenden Betrieb meist aber nicht auf den Reinraum selbst, sondern auf Produktionsmittel, Verbrauchsmaterialien, Arbeitsplätze (Oberflächen, Maschinen, Werkzeuge), Prozessmedien (Gase, Flüssigkeiten, Chemikalien) und Personen zurückgeführt werden kann. Im Sinne einer Übersicht soll dieses Kapitel dazu dienen, Risiken zu identifizieren und gleichzeitig aufzeigen, wie solche Risiken durch technische und operative Maßnahmen bereits frühzeitig, häufig schon in der Planungsphase, minimiert werden können.

Literatur

  1. [1]
    Gommel, U.: Qualifizierung von Betriebsmitteln im Reinraum – Anlagen, Gerätschaften, Werkstoffe. In: Gail, L., Gommel, U., Weißsieker, H. (Hrsg.) Praxiswissen Reinraumtechnik: Technik, Planung, Betrieb. Hüthig, Heidelberg (2009)Google Scholar
  2. [2]
    Blümel, K., Gail, L.: Vom Produktionsprozess zum Reinraumkonzept. In: Gail, L., Gommel, U., Weißsieker, H. (Hrsg.) Praxiswissen Reinraumtechnik: Technik, Planung, Betrieb. Hüthig, Heidelberg (2009)Google Scholar
  3. [3]
    VDI 2083 Blatt 7: 2015-10. Reinraumtechnik – Reinstmedien – Qualität, Bereitstellung, Verteilung (2015)Google Scholar
  4. [4]
    VDI 2083 Blatt 9.1: 2006-12. Reinraumtechnik – Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit (2006)Google Scholar
  5. [5]
    VDI 2083 Blatt 9.2: 2017-01. Reinraumtechnik – Verbrauchsmaterialien im ReinraumGoogle Scholar
  6. [6]
    VDI 2083 Blatt 10: löschenGoogle Scholar
  7. [7]
    VDI 2083 Blatt 15: (2007-04). Reinraumtechnik – Personal am Reinen Arbeitsplatz (2007)Google Scholar
  8. [8]
    VDI 2083 Blatt 5.1: 2007-09. Reinraumtechnik – Betrieb von Reinräumen (2007)Google Scholar
  9. [9]
    VDI 2083 Blatt 11: 2008-01. Reinraumtechnik – Qualitätssicherung (2008)Google Scholar
  10. [10]
    DIN EN ISO 14644-5: 2005-03. Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 5: Betrieb (2005)Google Scholar
  11. [11]
    VDI 2083 Blatt 17: 2013-06. Reinraumtechnik – Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen (2013)Google Scholar
  12. [12]
    VDI 2083 Blatt 12: 2000-01. Reinraumtechnik – Sicherheits- und Umweltschutzaspekte (2000)Google Scholar
  13. [13]
    VDI 2083 Blatt 13.1: 2009-01. Reinraumtechnik – Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser – Grundlagen (2009)Google Scholar
  14. [14]
    VDI 2083 Blatt 13.2: 2009-01. Reinraumtechnik - Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser - Mikroelektronik und andere technische Anwendungen (2009)Google Scholar
  15. [15]
    VDI 2083 Blatt 13.3: 2010-10. Reinraumtechnik – Qualität, Erzeugung und Verteilung von Reinstwasser – Pharmazie und andere Life-Science-Anwendungen (2010)Google Scholar
  16. [16]
    DIN EN ISO 14644-14: 2017-01. Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 14: Bewertung der Reinraumtauglichkeit von Geräten durch Partikelkonzentration in der Luft (2017)Google Scholar
  17. [17]
    Toy, D.A.: Cleanroom accessories can impact your process. In: Semiconductor International, S. 136–144 (1990)Google Scholar
  18. [18]
    DIN EN ISO 14644-1: 2016-06. Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 1: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (2016)Google Scholar
  19. [19]
    VDI 2083 Blatt 5.2 löschenGoogle Scholar
  20. [20]
    Recommended Practice IEST-RP-CC018.4, Cleanroom Housekeeping: Operating and Monitoring Procedures (2007)Google Scholar
  21. [21]
    VDI 2083 Blatt 4.2: 2011-04. Reinraumtechnik – Energieeffizienz (2011)Google Scholar
  22. [22]
    Recommended Practice IEST-RP-CC026.2, Cleanroom Operations (2004)Google Scholar
  23. [23]
    VDI 2083 Blatt 1: 2013-01. Reinraumtechnik – Partikelreinheitsklassen der Luft (2013)Google Scholar
  24. [24]
    VDI 2083 Blatt 3: 2005-07. Reinraumtechnik – Messtechnik in der Reinraumluft (2005)Google Scholar
  25. [25]
    VDI 2083 Blatt 4.1: 2006-10. Reinraumtechnik – Planung, Bau und Erst-Inbetriebnahme von Reinräumen (2006)Google Scholar
  26. [26]
    VDI 2083 Blatt 8.1: 2014-10. Reinraumtechnik – Luftreinheit anhand chemischer Konzentration (ACC) (2014)Google Scholar
  27. [27]
    VDI 2083 Blatt 16.1: 2010-08. Reinraumtechnik – Barrieresysteme (Isolatoren, Mini-Environments, Reinraummodule) – Wirksamkeit und Zertifizierung (2010)Google Scholar
  28. [28]
    VDI 2083 Blatt 18: 2012-01. Reinraumtechnik – Biokontaminationskontrolle (2012)Google Scholar
  29. [29]
    DIN EN ISO 14644-2:2016-05. Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Nachweis der Reinraumleistung bezüglich Luftreinheit anhand der Partikelkonzentration (2016)Google Scholar
  30. [30]
    DIN EN ISO 14644-3: 2006-03. Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 3: Prüfverfahren (2006)Google Scholar
  31. [31]
    DIN EN ISO 14644-4: 2003-06. Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 4: Planung, Ausführung und Erst-Inbetriebnahme (2003)Google Scholar
  32. [32]
    DIN EN ISO 14644-7: 2005-01. Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 7: SD-Module (Reinlufthauben, Handschuhboxen, Isolatoren und Minienvironments) (2005)Google Scholar
  33. [33]
    DIN EN ISO 14644-8: 2013-06. Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 8: Klassifizierung der Luftreinheit anhand der Chemikalienkonzentration (ACC) (2013)Google Scholar
  34. [34]
    DIN EN ISO 14644-9: 2012-12. Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 9: Klassifizierung der partikulären Oberflächenreinheit (2012)Google Scholar

Copyright information

© Springer-Verlag GmbH Deutschland, ein Teil von Springer Nature 2018

Authors and Affiliations

  1. 1.Abteilung Reinst- und MikroproduktionFraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPAStuttgartDeutschland
  2. 2.Abteilung Reinst- und MikroproduktionFraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPAStuttgartDeutschland

Personalised recommendations