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Sauberraumsysteme

  • Christian Ernst
  • Günther Schmauz
Chapter
Part of the VDI-Buch book series (VDI-BUCH)

Zusammenfassung

Einzelne Branchen, welche bis dato ohne besondere Anforderungen an die Sauberkeit Ihrer Zwischen- und Enderzeugnisse ausgekommen sind, werden aufgrund technischer Weiterentwicklungen der letzten Jahre mit dieser Notwendigkeit konfrontiert.

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Copyright information

© Springer-Verlag GmbH Deutschland, ein Teil von Springer Nature 2018

Authors and Affiliations

  1. 1.Abteilung Reinst- und MikroproduktionFraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPAStuttgartDeutschland
  2. 2.acp - advanced clean production GmbHDitzingenDeutschland

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