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Spezielle Kontaminationsquellen

  • Martin Schottler
  • Wolfgang Eißler
Chapter
Part of the VDI-Buch book series (VDI-BUCH)

Zusammenfassung

Durch die fortschreitende Minimierung der Strukturen in der Halbleiterindustrie haben sich die Anforderungen an die direkte Prozessumgebung in den letzten Jahren stark verändert. Historisch betrachtet bedeutete Kontaminationskontrolle die Sicherstellung einer temperatur- und feuchtegeregelten Umgebung, in der die Anzahl der Partikel bzw. Keime in der direkten Prozessumgebung kontrolliert bzw.

Notes

Danksagung

Viele Kollegen aus der M + W Group, aber auch von Partnerfirmen haben Beiträge zu obigem Text gegeben, ohne als Autoren benannt worden zu sein. Besonders danken möchten wir Herrn Matthias Pfutterer von M + W Products GmbH und Emmanuelle Veran von Adixen.

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Copyright information

© Springer-Verlag GmbH Deutschland, ein Teil von Springer Nature 2018

Authors and Affiliations

  1. 1.AVEREM Verfahrenstechnik GmbHStuttgartDeutschland
  2. 2.Abt. TST-ATFM+W Central Europe GmbHStuttgartDeutschland

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