Einsatz von Automatisierungskomponenten bei Montage und Handling in Reinräumen

Zusammenfassung

Daß bei high-tech-Produkten vor allem in der Halbleitertechnik und im Präzisions-Gerätebau Strukturen und Toleranzen bis in den Sub-μ-Bereich beherrscht werden, gilt heute fast schon als selbstverständlich.