Trockenätzverfahren

Zusammenfassung

Vorweg sei festgestellt, daß die Begriffe „Sputterätzen“ auf der einen sowie „Ionenätzen“ und „Plasmaätzen“ auf der anderen Seite in der Literatur nicht einheitlich benutzt werden. Im folgenden wird — cum grano salis — auf die kritischen Übersichtsartikel von Bollinger et al. (1984 I,II) und Coburn und Winters (1979) Bezug genommen. Der Hauptunterschied zwischen diesen beiden Ätzverfahren wird demnach darin gesehen, daß beim Ionen- und Plasmaätzen ein Teil des Ätzgases bei der Ätzung verbraucht wird.