Die Kombination von Plasmanitrierung und plasmagestützter Schichtabscheidung aus der Gasphase (PACVD) in einem Verfahrensablauf pp 15-16 | Cite as
Einleitung
Chapter
Zusammenfassung
Die Oberfläche eines Körpers stellt die Grenzfläche zu seiner Umgebung dar und die Gebrauchseigenschaften eines Bauelementes werden wesentlich von den Eigenschaften der Festkörperoberfläche bestimmt. Die Oberfläche in der Weise zu verändern, daß die für den entsprechenden Anwendungsfall geforderten Gebrauchseigenschaften erreicht werden, ist Aufgabe der Oberflächen- und Schichttechnologie.
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