Literatur

Aderhold, W.; Frühauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft R -D Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren. BMFT Forschungsvorhaben NT 26970 der Fraunhofer-Einrichtungen, 1987, Fraunhofer-Arbeitsgruppe für Integrierte Schaltungen, Abteilung für Bauelementetechnologie -AIS-B-, Erlangen (Hrsg.), Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung -IPA-, Stuttgart (Hrsg.)Google Scholar

Andler, K. Rationalisierung der Fabrikation und optimale Losgrösse. München, Universität München, Diss., 1929Google Scholar

Auto-Station Material Control System I-III. Auto-Soft Corporation, 563 West 500 South, Second Floor Bountiful, Utah 84010, 1994Google Scholar

Barreveld, H. Workcell automation in practice. In: IPA-Technologie-Forum Information processing in semiconductor manufacturing, 21.5.1992, Stuttgart/Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Hrsg.). Stuttgart: 1992Google Scholar

Becker, B.-D. Simulationssystem für Fertigungsprozesse mit Stückgutcharakter. Berlin u.a.: Springer, 1991. Zugl. Stuttgart, Univ. (IPA-IAO Forschung und Praxis; 154), Diss. 1991CrossRefGoogle Scholar

Boelzing, D. Kennzahlenorientierte Analyse rechnergestützter Fabrikautomatisierung. Darmstadt, Darmstädter Forschungsberichte für Konstruktion und Fertigung, Hrsg. H. Schulz, Diss., 1990Google Scholar

Burggraaf, P. MESC: Is It Working? In: Semiconductor International, October 91 (1991), S. 66–70Google Scholar

Burggraaf, P. The Status of Equipment Communications. In: Semiconductor International, December 95 (1995), S. 56 -61Google Scholar

Castrucci, P. The future fab changing the paradigm. In: Solid State Technology Jan 95 (1995), S. 49ffGoogle Scholar

Dangelmaier, W.; Kühnle, H. Auswirkungen von Organisationstyp und Fertigungssteuerung auf Grossserien-und Massenfertigung. FhG-Berichte 3/4, 1983, S. 26–32Google Scholar

Dangelmaier, W.; Becker, B.D. An approach for modelling manufacturing processes in order to solve the shop floor control problem. In: Proceedings of ESPRIT CIM-Europe workshop, WZL der TH Aachen, Aachen, 1989Google Scholar

Dudde,R., Staudt-Fischbach, P., Herzog, O. Automation in Semiconductor-production Minienvironments, Flexibility and Information-flow. 1995Google Scholar

Engelhard, M. Lot tracking with electronic runcards. In: IPA-Technologie-Forum Information processing in semiconductor manufacturing, 21.5.1992, Stuttgart/Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Hrsg.). Stuttgart: 1992Google Scholar

SPC Software GmbH: FactoryLink IV, Multiplattform-version, Technische Kurzbeschreibung. Mannheim 1992 -FirmenschriftGoogle Scholar

Fluoroware: FluoroTrac Auto ID System. North, Chaska, Minnesota, 55318 USA, 1993 -FirmenschriftGoogle Scholar

hsh -Systeme für Prozessleittechnik: Leitrechner-System WIZCON/2. Heilbronn, 1992 -FirmenschriftGoogle Scholar

Fox, M.S., Smith, S. F. ISIS-a knowledge-based system for factory scheduling. In: Expert Systems, Vol. 1, 84 (1984), S. 25–49CrossRefGoogle Scholar

Friedrichs, P.; Gromotka, W. Fertigungsleittechnik. In: VDI-Z 134 (1992), Nr. 10, Oktober, S. 112–127Google Scholar

Glaser, H.; Geiger, W.; Rohde, V. PPS-Produktionsplanung und -Steuerung. Wiesbaden: Verlag Gabler, 1991Google Scholar

Grandin, F.-H. Einfluss der Losgrösse auf die Wirtschaftlichkeit von Walzenstrassen. Aachen, Technische Hochschule, Fakultät für Bergbau u. Hüttenwesen, Diss., 1965Google Scholar

Greiner, T. Ein Algorithmus zur kapazitätsorientierten Bildung von Losen. / Tilmann Greiner. -Berlin u.a.: Springer, 1988. Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1987CrossRefGoogle Scholar

Hallum-D-L. Tool changes in a jiffy -Werkstückwechsel im Nu. Zeitschriftenaufsatz: American Machinist, Band 139 (1995) Heft 1, Seite 41 -44Google Scholar

Hamashima, K. Many-kinds Small-amount Production in ASIC Factory. In: International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 1994Google Scholar

Hascher, W. Die Waferfab nach Maß. In: Elektronik 6/96, S. 56–62Google Scholar

Herzog, O. Softwarewerkzeug zur Entwicklung flexibler Leitstände. In: Wissenschaft und Technik, Juli/August 1992, S. 62, Springer–VerlagGoogle Scholar

Herzog, O.; Schäfer W. Experiences with workcell integration. In: IPA-Technologie -Forum Information processing in semiconductor manufacturing, 21.5.1992, Stuttgart/Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Hrsg.). Stuttgart: 1992Google Scholar

Herzog, O. Einsatzmöglichkeiten von OSF/Motif für Produktionsanlagen im Reinraum. In: Vortragssammlung OSF/Motif-Tage , 1.-3. Juli 1992, IN-Integrierte Informationssysteme GmbH (Hrsg.), Konstanz, 1992, S. 335–348Google Scholar

Herzog, O. Alles im Reinen -Fertigungsoptimierung im Reinraum, in: IPA Trendsetter der Produktion, Publikationsgesellschaft Moderne industrie, Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung, Stuttgart (Hrsg.), Stuttgart, 1993, S. 82–85Google Scholar

Herzog, O. Qualitätssicherung in Reinräumen. In: IPA-Technologie-Forum Partikelmeßtechnik im Reinraum, Stuttgart/Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Hrsg.). Stuttgart: 1995Google Scholar

Heuberger, A. Future technologies for micro electronics and micro systems and the role of Europe. In: International Semiconductor Cooperation Symposium, 7.12.92, Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie, Berlin (Hrsg.), Berlin, 1992Google Scholar

Heuberger, A. Management and Infrastructure of Fraunhofer-ISiT Facilities. In: International Symposium on the Environmental Impact of Microelectronic Device Fabrication, 27.10.95, Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie, Itzehoe (Hrsg.), Itzehoe, 1995Google Scholar

Herzog, R., Schäfer-Kunz, J. Planen und Optimieren mit der Technik der Simulation. In: VDI Nachrichten (1995), Nr. 43 -Sonderteil Interkama 95, S. 56Google Scholar

Hilgenstock, G. Die Bedeutung von Losgrösse und Walzprogramm für die Kostengestaltung einer Fertigstrasse. Clausthal, F. f. Bergbau u. Hüttenw., Diss., 1963Google Scholar

Hochfellner, G. In-line Betriebsdatenerfassung. Sonderdruck aus Getränkeindustrie 3,1994Google Scholar

Huth, S. System enabler and application enabler -a new approach to information processing for manufacturing. In: IPA-Technologie -Forum Information processing in semiconductor manufacturing, 21.5.1992, Stuttgart/Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Hrsg.). Stuttgart: 1992Google Scholar

Jansen, R. Multisensorsystem für roboterbediente Absackanlagen. Zeitschriftenaufsatz: Zeitschrift für wirtschaftliche Fertigung und Automatisierung ZWF/CIM, Band 88 (1993) Heft 11, Seite 542–544Google Scholar

Klumpp, B. Future SMIF-Integration For Semiconductor Fabrication. In: Proceedings of the 41st Annual Technical Meeting, Institute of Environmental Sciences, 30.4.95, Institute of Environmental Sciences, Anaheim, USA (Hrsg.), 1995Google Scholar

Koike, T. Fundamentals Of Wafer Fab Automation The Forth Generation CIM Fa. In: International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 1994Google Scholar

Kretschmer, H. Automatisierungskonzept der Neumarkter Lammsbräu. Sonderdruck aus BRAUWELT, Jahrgang 134 (1994), Nr. 19 (1994), Seite 891–893Google Scholar

Krikhaar, J.-W .-M. IDIM and the mass production of small-lot-size parts. IN Philips, Eindhoven, NL. Zeitschriftenaufsatz: International Journal of Advanced Manufacturing Technology, Band 8 (1993) Heft 6, Seite 352–357CrossRefGoogle Scholar

Kroth-E. CAD-programmierter Schweissroboter fertigt Roboterkomponenten. Roboterprogrammierung auf CAD-Systemen für komplexe Schweissabläufe. IN Maschinenfabr. Reis, Oberburg, D. Zeitschriftenaufsatz: Zeitschrift für wirtschaftliche Fertigung und Automatisierung ZWF/CIM, Band 87 (1992) Heft 8, Seite 439–442Google Scholar

Kurz, Jochen Ein Verfahren zur kostenorientierten Produktionsprogramm-und Kapazitätsplanung bei losweiser Montage. Berlin u.a.: Springer, 1994 Stuttgart, Univ., Fak. Konstruktions-und Fertigungstechnik, Inst, für Industrielle Fertigung und Fabrikbetrieb, Diss. 1993 (IPA-IAO Forschung und Praxis; 196)Google Scholar

Lipp-H-P. Fuzzy-Petri-Netze für den Entscheidungsprozess in flexiblen Fertigungssystemen. In: MIT, Aachen, D. Zeitschriftenaufsatz: Mikroelektronik, Band 6 (1992) Heft 5, Seite 290–292, 294Google Scholar

Lohse, N. Fördertechnische Anlagen mit Prozessleittechnik visuali-sieren. Sonderdruck Zeitschrift wirtschaftliche Fertigung und Automatisierung, 85. Jahrgang 1990/4Google Scholar

Lohse, N. Prozessvisualisierung mit flexiblen Standardwerkzeugen. In: Verfahrenstechnik, Zeitschrift für Planung, Bau und Betrieb von Apparaten und Anlagen, September 1992Google Scholar

Makolla-G. Neue Produktionslogistik mit Bereitstellen von Komponenten für die Montage von Pumpen. Konferenz-Einzelbericht: VDI-Berichte, Band 1131 (1994) Düsseldorf, VDI-Verlag, Seite 23–34Google Scholar

Minienvironments sorgen für Wachstum. In: Markt&Technik Nr. 15, 12.4.96, S. 43–44Google Scholar

Matsuoka, O. CIMS For Cost Effective Manufacturing. In: International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 1994Google Scholar

Mäusl, L. Die Datenflut bewältigen. In: productronic 4, 1994, S. 70 -71Google Scholar

Mitranescu, L. Rezepturgesteuerte Chargenprozesse beherrschen. Sonderdruck aus Parfümerie und Kosmetik 5, Hüthig GmbH, Heidelberg, 1994, S. 326–329Google Scholar

Mockenhaupt, A. Aufgabenteilung. Hybrid-Arbeitsplatz für schnellen Wechsel von der automatisierten zur manuellen Montage. Univ-GH Essen, D. Zeitschriftenaufsatz: Der Maschinenmarkt, Band 99 (1993) Heft 46, Seite 32–34Google Scholar

Moslehi, M. Microelectronics Manufacturing Science and Technology: Single-Wafer Thermal Processing and Wafer Cleaning. In: Texas Instruments Technical Journal, Vol. 9; No. 5, Sept.-Okt. 92(1992),S.44Google Scholar

Nakamura, S. An Efficient Resource Planning For Semiconductor Manufacturing Lines Using Precise Simulation. In: International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 1994Google Scholar

Nyhuis, P. Durchlauforientierte Losgrössenbestimmung. Düsseldorf: VDI Verlag, 1991 Hannover. Zugl.: Hannover, Univ., Fak. für Maschinenwesen, Inst, für Fabrikanlagen, Diss., 1991Google Scholar

Patzschke & Rasp: MODA und GIPSY im technischen Überblick. Wiesbaden, 1993 -FirmenschriftGoogle Scholar

Pfannemüller, W. Umbau kein Problem. Fördersysteme: Maschinen verknüpfen. Zeitschriftenaufsatz: Industrieanzeiger, Band 116 (1994) Heft 29, Seite 21–22Google Scholar

Nur der Arbeitsraum setzt Grenzen. In: Roboter, Juni 1993, S. 28 -30Google Scholar

Rosander, K. Design of production systems for batch production in short series to reduce lead time. In.: Chalmers Univ. of Technol., Göteborg, Zeitschriftenaufsatz: International Journal of Operations and Production Management, Band 12 (1992) Heft 4, Seite 53–60CrossRefGoogle Scholar

Ruge, I. Halbleiter-Technologie, 2. Überarbeitete und erweiterte Auflage von Hermann Mader, Springer-Verlag, Berlin 1984Google Scholar

Sacket, P. J.; Fan, I. S. The control of a flexible manufacturing system by shortterm goal identification. In: The International Journal of Advance Manufacturing Technology, 1989, Vol. 4, pp. 123 -143, Springer-Verlag LondonCrossRefGoogle Scholar

Sauter, K.-D. Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen. Berlin u.a.: Springer, 1990. Zugl. Stuttgart, Univ. (IPA-IAO Forschung und Praxis; 149), Diss. 1990CrossRefGoogle Scholar

Schmidt, G.; Frenzel, B. Anforderungen an Leitstände für die flexible Fertigung. In: CIM-Management 4/90 (1990), S. 33 -37Google Scholar

Schlegel-R; Stalder-C. Wirtschaftliche Produktion von Listen-und Zeichnungsmatten in kleinsten Losgrössen. Zeitschriftenaufsatz: Draht, Bamberg, Band 44 (1993) Heft 5, Seite 273–274Google Scholar

Schmitt, E. Werkstattsteuerung bei wechselnder Auftragsstruktur: Ein Ansatz zur rechnerunterstützten Maschinenbelegungsplanung. Karlsruhe, Institut für Werkzeugmaschinen und Betriebstechnik (IWB) der Universität Karlsruhe, Diss., 1989Google Scholar

Schulte, J. Werkstattsteuerung mit genetischen Algorithmen und si-mulativer Bewertung. Berlin u.a.: Springer, 1995. Zugl. Stuttgart, Univ. (IPA-IAO Forschung und Praxis), Diss., 1995CrossRefGoogle Scholar

Schumicki,G.; Seegebrecht, P. Prozeßtechnologie, 1. Auflage, Berlin u.a.: Springer-Verlag, 1991Google Scholar

Schraft, R.-D.; Domm, M.E. New Concepts And Processes For Mounting Circuit Boards In Lot Size 1. In: Conference Notes of the 1989 Symposium on Advanced Manufactoring, Center for Robotics and Manufacturing Systems, University of Kentucky, 1989Google Scholar

SEMATECH: Computer Integrated Manufacturing (CIM) Application Framework Specification Version 1.3. Austin, TX, USA, 1996 -FirmenschriftGoogle Scholar

Secrest, J. GW Associates: SECS Communications Handbook. Sunnyvale, CA, USA, 1993 -FirmenschriftGoogle Scholar

SEMATECH Executive Adresses Key Productivity Challenges. In: Semiconductor International, October 1995, pp. 20–24Google Scholar

Equipment Automation/Software Volume 1 + 2. In: Semi International Standards, 1995Google Scholar

Equipment Automation/Hardware Volume, In: Semi International Standards, 1995Google Scholar

Shibata, K. CIM systems in an Advanced Semiconductor Factory. In: International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 1994Google Scholar

Siewert, U. Systematische Erstellung adaptierbarer Leitsteuerungssoftware am Beispiel der Durchsetzungsplanung, Berlin: Springer-Verlag, 1994Google Scholar

Silberring, P. Chip assembly with wafermapping. In: IPA-Technologie-Forum Information processing in semiconductor manufacturing, 21.5.1992, Stuttgart/Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Hrsg.). Stuttgart: 1992Google Scholar

Singer, P. Thermal Processing: The RTP Race Heats Up. In Semiconductor International 3/96 (1996), S. 64–70Google Scholar

Smart Fabrication-Klug produzieren. In: Markt & Technik-Wochenzeitung für Elektronik Nr. 19, 5. Mai 1995, S. 20–23Google Scholar

Soete, W. Visualisierungssysteme im Vergleich. In: Bedienen & Beobachten, Elektonik-Spezial für Ingenieure und Entwickler, Franzis-Verlag, Ausgabe 21, 1995Google Scholar

Steinberger, H. IC-Herstellung: Vom Schaltungsentwurf zum Chip. In: Elektronik 22/31.10.1985, S. 120–128Google Scholar

Sullivan, M.; Butler, S. W., Hirsch, J.; Wang, C. J. A Control-to-Target Architecture for Process Control. In: IEEE Transactions On Semiconductor Manufacturing, Vol. 7, No. 2, May 1994, pp. 134 -148CrossRefGoogle Scholar

Sze, S. M. VLSI Technology, McGraw-Hill Book Co., New York u.a., 1988Google Scholar

Tantz-M. Planung produktionslogistischer Werkzeugflusssysteme flexibler Teilefertigungen in Maschinenbaubetrieben. Magdeburg, Inst. f. Fabrikautomatisierung u. Fabrikbetrieb, TU Magdeburg, Diss., 1993Google Scholar

Teoh-L-L. Technological developments in near-net-shape casting for mini-steelmills. Zeitschriftenaufsatz: Journal of Materials Processing Technology, Band 44 (1994) Heft 3–4, Seite 249–256CrossRefGoogle Scholar

DeTuoni, B. CAM System integration in the silicon wafer manufacturing. In: IPA-Technologie-Forum Information processing in semiconductor manufacturing, 21.5.1992, Stuttgart/Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Hrsg.). Stuttgart: 1992Google Scholar

Varinelli, M. Information technology in semiconductor manufacturing. In: IPA-Technologie-Forum Information processing in semiconductor manufacturing, 21.5.1992, Stuttgart/Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Hrsg.). Stuttgart: 1992Google Scholar

Wagner, T.; Wässner, J.; Kostengünstige Montage bei mittleren Losgrössen: High-Tech -Werkzeuge zum Fügen mit Industrierobotern. In: Technische Rundschau -TR Transfer 84 (1992) Nr. 39, S. 52–57Google Scholar

Warner, M. The use of IPFMS (integrated plantfloor management solutions) in world class manufacturing. In: IPA-Technologie -Forum Information processing in semiconductor manufacturing, 21.5.1992, Stuttgart/Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (Hrsg.). Stuttgart: 1992Google Scholar

Warnecke, H.-J.; Grau, R., Weisener, T. Organisationsstruktur ist wichtig: Montage kleiner und mittlerer Losgrössen. In: Schweizer Maschinenmarkt 91 (1991) Nr. 47, S. 24–33Google Scholar

Warnecke, H.J. Der Produktionsbetrieb. 2. Aufl., Berlin, Springer-Verlag, 1993Google Scholar

Warnecke, H.-J.; Herzog, O. Entwurf von Leitsystemen -Produktionstechnik im Reinraum. In: Werkstatttechnik 83 (1993), Nr. 2, S. 54–56Google Scholar

Werner, L. Real-Time Statistical Process Control Application for ControlPRO. In: Real Times, Vol. 1 No. 1 (1995), S. 2–16Google Scholar

Sensor Bus Technology: New Controls for the Semiconductor Industry. In: Control Visions, Issue 1 (1995), S. 3Google Scholar

Wiendahl, H.-P. Belastungsorientierte Fertigungssteuerung. München, Hanser Verlag, 1987Google Scholar

Wohnhas, S.; Sauter, K.-D.; Mack, A. Reduction of Wafer Transfer for Optimizing Material Flow. In: Solid Sate Technologie, February 1988, S. 43 45Google Scholar

Yoshida, H. Merits And Demerits Of Automation. In: International Symposium on Semiconductor Manufacturing, 1994Google Scholar

Zuelch-G; Braun-W-J. Regelbasierte Strukturierung in der manuellen Montage. Zeitschriftenaufsatz: Produktion und Management -wt, Band 85 (1995) Heft 1/2, Seite 41–46Google Scholar

Mikroelektronik in Europa: Broschüre Thesen zur Zukunftssicherung der europäischen Industriegesellschaft. Hrsg.: Fachverband Bauelemente der Elektronik im Zentralverband Elektrotechnik-und Elektronikindustrie e.V., 1993Google Scholar