Spezielle Kontaminationsquellen

  • Martin Schottler
  • Lucia Kapitza
  • Wolfgang Eißler
Chapter
First Online:
Part of the VDI-Buch book series (VDI-BUCH)

Zusammenfassung

Durch die fortschreitende Minimierung der Strukturen in der Halbleiterindustrie haben sich die Anforderungen an die direkte Prozessumgebung in den letzten Jahren stark verändert. Historisch betrachtet bedeutete Kontaminationskontrolle die Sicherstellung einer temperatur- und feuchtegeregelten Umgebung, in der die Anzahl der Partikel bzw. Keime in der direkten Prozessumgebung kontrolliert bzw. minimiert werden. Heutzutage jedoch muss der Begriff Kontaminationskontrolle weiter gefasst werden. Umgebungsanforderungen wie AMC (Airborne Molecular Contamination), Mechanische Schwingungen, Schall, elektromagnetische Felder und elektrostatische Aufladungen werden immer wichtiger und können somit als störende Einwirkung der Prozessumgebung bzw. als „Kontamination“ im weiteren Sinne, „verstanden werden“. Deshalb befasst sich Kap. 10 mit den wichtigsten dieser „speziellen Kontaminationsquellen“.

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Notes

Danksagung

Viele Kollegen aus der M + W Group, aber auch von Partnerfirmen haben Beiträge zu obigem Text gegeben, ohne als Autoren benannt worden zu sein. Besonders danken möchten wir Herrn Matthias Pfutterer von M + W Products GmbH und Emmanuelle Veran von Adixen.

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Copyright information

© Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2012

Authors and Affiliations

  • Martin Schottler
    • 1
  • Lucia Kapitza
    • 2
  • Wolfgang Eißler
    • 2
  1. 1.Verfahrenstechnische BeratungStuttgartDeutschland
  2. 2.M+W Germany GmbH, Abt. GTSStuttgartDeutschland

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