Sekundärionen- und Neutralteilchenmassenspektrometrie an oxidischen Dünnschichtsystemen

Der Einfluß ionenbeschußindizierter Prozesse auf die Sekundärteilchenemission im Zerstäubungsgleichgewicht und an Schichtgrenzflächen

  • Authors
  • Dieter Lipinsky

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-2
  2. Dieter Lipinsky
    Pages 3-5
  3. Dieter Lipinsky
    Pages 6-43
  4. Dieter Lipinsky
    Pages 44-67
  5. Dieter Lipinsky
    Pages 68-78
  6. Dieter Lipinsky
    Pages 111-177
  7. Dieter Lipinsky
    Pages 178-180
  8. Back Matter
    Pages 181-211

About this book

Keywords

Gleichgewicht Massenspektrometrie Neutralteilchen Oxide Profil Reibung Spektrometrie Systeme Teilchen dünne Schichten

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-663-14558-5
  • Copyright Information Springer Fachmedien Wiesbaden 1995
  • Publisher Name Deutscher Universitätsverlag, Wiesbaden
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-8244-2066-7
  • Online ISBN 978-3-663-14558-5
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