Prozeßtechnologie

Fertigungsverfahren für integrierte MOS-Schaltungen

  • Günter Schumicki
  • Peter Seegebrecht

Part of the Mikroelektronik book series (MIKROELEKTRONIK)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XVI
  2. P. Seegebrecht, G. Schumicki
    Pages 1-4
  3. F. Zimmermann, G. Schumicki
    Pages 5-22
  4. T. Evelbauer, P. Seegebrecht
    Pages 23-52
  5. J. -H. Fock, H. Fehling
    Pages 53-103
  6. J. Frick, F. Zimmermann
    Pages 105-142
  7. P. Seegebrecht, N. Bündgens
    Pages 143-188
  8. P. Seegebrecht, N. Bündgens, R. Schneider
    Pages 189-242
  9. G. Schumicki, P. Seegebrecht
    Pages 243-260
  10. P. Seegebrecht, N. Bündgens
    Pages 261-288
  11. P. Seegebrecht
    Pages 289-320
  12. T. Evelbauer, G. Schumicki
    Pages 321-325
  13. P. Seegebrecht
    Pages 327-383
  14. H. Fehling, G. Schumicki
    Pages 385-402
  15. B. Strycharczyk, G. Schumicki, P. Seegebrecht
    Pages 403-436
  16. B. Strycharczyk, G. Schumicki
    Pages 437-449
  17. T. Evelbauer, G. Schumicki
    Pages 451-467
  18. Back Matter
    Pages 469-500

About this book

Keywords

CMOS Entwicklung Mikroelektronik Prozeßtechnologie Reinraumtechnik Schaltung Zuverlässigkeit

Authors and affiliations

  • Günter Schumicki
    • 1
  • Peter Seegebrecht
    • 2
  1. 1.Abt. Technologie EntwicklungPhilips GmbH Röhren- und HalbleiterwerkeHamburg 54Deutschland
  2. 2.Abt. Integrierte SchaltungenFraunhofer-Institut für FestkörpertechnologieMünchen 60Deutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-662-09540-9
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1991
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-540-17670-1
  • Online ISBN 978-3-662-09540-9
  • Series Print ISSN 1431-6021
  • About this book