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  • © 1990

Kalte Plasmen

Grundlagen, Erscheinungen, Anwendungen

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Table of contents (15 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-X
  2. Einleitung

    • Gerhard Franz
    Pages 1-3
  3. Das Plasma

    • Gerhard Franz
    Pages 9-21
  4. Erzeugung von Ladungsträgern I

    • Gerhard Franz
    Pages 22-39
  5. Erzeugung von Ladungsträgern II

    • Gerhard Franz
    Pages 40-59
  6. RF-Entladungen

    • Gerhard Franz
    Pages 60-89
  7. Sputtern

    • Gerhard Franz
    Pages 90-127
  8. Trockenätzverfahren

    • Gerhard Franz
    Pages 128-163
  9. Ätzmechanismen

    • Gerhard Franz
    Pages 164-175
  10. Ionenstrahlsysteme

    • Gerhard Franz
    Pages 176-187
  11. Cyclotron-Resonanz-Systeme

    • Gerhard Franz
    Pages 188-203
  12. Ausblick

    • Gerhard Franz
    Pages 204-205
  13. Anhang

    • Gerhard Franz
    Pages 206-267
  14. Literaturverzeichnis

    • Gerhard Franz
    Pages 272-285
  15. Back Matter

    Pages 286-300

Authors and Affiliations

  • Zentralabteilung Forschung und Entwicklung, Siemens AG, München, Deutschland

    Gerhard Franz

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