Technologie hochintegrierter Schaltungen

  • Dietrich Widmann
  • Hermann Mader
  • Hans Friedrich
Book

Part of the Halbleiter-Elektronik book series (HALBLEITER, volume 19)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XX
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  2. Einleitung
    Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 1-2
  3. Grundzüge der Technologie von Integrierten Schaltungen
    Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 3-12
  4. Schichttechnik
    Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 13-100
  5. Lithographie
    Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 101-180
  6. Ätztechnik
    Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 181-222
  7. Dotiertechnik
    Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 223-252
  8. Reinigungstechnik
    Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 253-267
  9. Prozeßintegration
    Dietrich Widmann, Hermann Mader, Hans Friedrich
    Pages 269-349
  10. Back Matter
    Pages 351-366
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About this book

Keywords

Bauelement Dotierung Elektrik Elektronen Höchstfrequenz Kondensator Kristallstruktur Leitfähigkeit Prozessoptimierung RAM Schaltung Silizium Transistor Wafer integrierter Schaltkreis

Authors and affiliations

  • Dietrich Widmann
    • 1
  • Hermann Mader
    • 2
  • Hans Friedrich
    • 3
  1. 1.Bereich HalbleiterSiemens AGMünchen/BerlinGermany
  2. 2.Fachbereich Elektrotechnik der Fachhochschule MünchenVorstand im Institut für Technologie- und Wissenstransfer an der FH MünchenGermany
  3. 3.TELA Beteiligungsgesellschaft m.b.H.MünchenGermany

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-642-61415-6
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1996
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-642-64832-8
  • Online ISBN 978-3-642-61415-6
  • Series Print ISSN 0172-5882
  • About this book