Werkstückbegleitender Informationsspeicher als Basis für ein informationstechnisches Konzept für Halbleiterfertigungen

  • Klaus-Dieter Sauter

Part of the IPA-IAO — Forschung und Praxis book series (IPA, volume 149)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages 1-12
  2. Klaus-Dieter Sauter
    Pages 13-15
  3. Klaus-Dieter Sauter
    Pages 16-18
  4. Klaus-Dieter Sauter
    Pages 19-24
  5. Klaus-Dieter Sauter
    Pages 25-34
  6. Klaus-Dieter Sauter
    Pages 35-38
  7. Klaus-Dieter Sauter
    Pages 39-64
  8. Klaus-Dieter Sauter
    Pages 103-105
  9. Klaus-Dieter Sauter
    Pages 106-115
  10. Back Matter
    Pages 117-117

About this book

Keywords

Anforderungen Automatisierung Einheit Entwicklung Fertigung Halbleiter Informationssystem Logistik Mikroelektronik Optimierung Organisation Organisationseinheiten Organisationsstruktur Spektrum Technik

Authors and affiliations

  • Klaus-Dieter Sauter
    • 1
  1. 1.Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA)StuttgartDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-642-47941-0
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1990
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-540-53236-1
  • Online ISBN 978-3-642-47941-0
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