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Montage hybrider Mikrosysteme

Handhabungs- und Fügetechniken für die Klein- und Mittelserienfertigung

  • Ulrich Dilthey
  • Anette Brandenburg

Part of the VDI-Buch book series (VDI-BUCH)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-IX
  2. Pages 1-3
  3. Handhabung und Justage

    1. C. Brecher, C. Peschke
      Pages 7-20
    2. C. Brecher, F. Wolf
      Pages 21-37
    3. R. Poprawe, A. Gillner, A. Olowinsky, L. Bosse
      Pages 53-56
  4. Fügeverfahren

    1. E. Lugscheider, S. Ferrara
      Pages 59-64
    2. K. Bobzin, L. Bosse, A. Brandenburg, U. Dilthey, A. Erdle, S. Ferrara et al.
      Pages 65-78
    3. R. Poprawe, A. Gillner, L. Bosse
      Pages 79-89
    4. R. Poprawe, A. Gillner, F. Sari, M. J. Wild
      Pages 91-102
    5. A. Gillner, E. Haberstroh, W. Michaeli, R. Poprawe
      Pages 103-122
    6. U. Dilthey, A. Brandenburg, G. Smolka
      Pages 123-136
    7. E. Haberstroh, R. Lützeler
      Pages 137-148
    8. W. Michaeli, D. Opfermann
      Pages 149-159
    9. U. Dilthey, A. Brandenburg, M. Schleser
      Pages 161-172
  5. Prozesskontrolle

    1. T. Pfeifer, R. Schmitt, S. Driessen, B. Engelmann
      Pages 175-186
    2. L. Bosse, S. Driessen, B. Engelmann, A. Gillner, R. Poprawe, T. Pfeifer et al.
      Pages 187-218

About this book

Introduction

Das Buch beschreibt die Technologien rund um die Montage hybrider Mikrosysteme. Nicht der Entwurf oder das Mikrosystem als solches stehen im Vordergrund, sondern die Fertigungstechnologien zu ihrer Beherrschung. Neben den reinen Fügeverfahren werden die Handhabung sowie die Prozessüberwachung und -steuerung, die Sensorentwicklung und -integration und die zu verwendenden Werkstoffe behandelt. Ziel des Buches ist eine umfassende Dokumentation neuer Montage- und Fügetechnologien für hybrid aufgebaute, nicht für monolithische Mikrosysteme. Es dient dem Wissenschaftler ebenso wie dem Anwender als unterstützendes Werkzeug für die Auswahl des aus technologischer Sicht prädestinierten Verfahrens für hybride Mikrosysteme.

Keywords

Fertigung Fertigungsverfahren Fügeverfahren Handel Handhabung Mikrosystem (MEMS) Mikrosystemtechnik Prozessüberwachung Steuerung Systeme Technologie Verfahren Werkstoff Werkstoffe Werkzeug

Editors and affiliations

  • Ulrich Dilthey
    • 1
  • Anette Brandenburg
    • 1
  1. 1.RWTH AachenInstitut für Schweißtechnik und FügetechnikAachen

Bibliographic information