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Integrationstechniken für Feldeffekttransistoren mit halbleitenden Nanopartikeln

Einzel- und Multipartikel-Bauelemente

  • Authors
  • Karsten Wolff

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XXIV
  2. Karsten Wolff
    Pages 1-4
  3. Karsten Wolff
    Pages 33-50
  4. Karsten Wolff
    Pages 51-82
  5. Karsten Wolff
    Pages 189-196
  6. Back Matter
    Pages 197-228

About this book

Introduction

Um die Produktionskosten zu reduzieren und neue Anwendungsgebiete zu erschließen, wird in den letzten Jahren zusehends die Herstellung von integrierten Schaltungen mittels Drucktechniken angestrebt. Eine aussichtsreiche Materialklasse für den Einsatz in gedruckten Halbleiterbauelementen stellen anorganische Nanopartikel dar. Insbesondere eignen sich hierfür halbleitende Nanopartikel aufgrund der theoretisch hohen Ladungsträgerbeweglichkeit und der Materialverfügbarkeit.
Karsten Wolff untersucht Integrationstechniken für die Verwendung von Halbleiternanopartikeln in Feldeffekttransistoren am Beispiel von Silizium- und Zinkoxid-Partikeln. Dabei betrachtet er sowohl klassische Dünnfilmtransistoren, nanoskalige Einzelpartikeltransistoren als auch Inverterschaltungen. Im Fokus steht das elektrische Verhalten der Bauelemente in Abhängigkeit von der Prozessführung und der Transistorarchitektur.

Keywords

Feldeffekttransistoren Halbleitertechnologie Nanopartikel Transistoraufbau druckbare Elektronik

Bibliographic information