Mikrosystementwurf

Entwurf und Simulation von Mikrosystemen

  • Manfred Kasper

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XV
  2. Manfred Kasper
    Pages 1-35
  3. Manfred Kasper
    Pages 36-63
  4. Manfred Kasper
    Pages 64-87
  5. Manfred Kasper
    Pages 88-102
  6. Manfred Kasper
    Pages 103-128
  7. Manfred Kasper
    Pages 153-194
  8. Manfred Kasper
    Pages 195-233
  9. Manfred Kasper
    Pages 234-260
  10. Manfred Kasper
    Pages 261-290
  11. Manfred Kasper
    Pages 291-319
  12. Manfred Kasper
    Pages 320-347
  13. Manfred Kasper
    Pages 348-376
  14. Back Matter
    Pages 377-382

About this book

Introduction

Dieses Buch vereint die wesentlichen Aspekte zum erfolgreichen Entwurf von Mikrosystemen und gibt eine geschlossene Darstellung der Grundlagen, Entwurfsmethoden, Simulationsverfahren, Anwendungen und Technologien. Bei diesem Werk steht der Entwurf im Vordergrund, insbesondere die sich aus der Miniaturisierung ergebenden Konsequenzen im Entwurf von Mikrosystemen, da die physikalischen Eigenschaften bei einer Maßstabänderung nicht gleich bleiben. Besondere Beachtung finden die Zusammenhänge und Analogien der elektrischen, mechanischen, thermischen, fluidischen und optischen Funktionselemente, da diese Komplexität leicht unüberschaubar wird.

Keywords

Bionik Biosensor Effekte Finite-Elemente-Methode Graphen Lernen Nanotechnologie Optimierung Simulation Systementwurf

Authors and affiliations

  • Manfred Kasper
    • 1
  1. 1.Technische Universität Hamburg-HarburgHamburg

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-642-57123-7
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2000
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-540-66497-0
  • Online ISBN 978-3-642-57123-7
  • About this book