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Entwicklung und Optimierung von Prozeßkomponenten zur ionenunterstützten Abscheidung bei PVD-Verfahren

  • Walter Olbrich

Part of the IPA-IAO — Forschung und Praxis book series (IPA, volume 202)

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages 1-14
  2. Walter Olbrich
    Pages 15-16
  3. Walter Olbrich
    Pages 17-18
  4. Walter Olbrich
    Pages 19-19
  5. Walter Olbrich
    Pages 20-59
  6. Walter Olbrich
    Pages 60-69
  7. Walter Olbrich
    Pages 85-107
  8. Walter Olbrich
    Pages 108-111
  9. Walter Olbrich
    Pages 112-113
  10. Walter Olbrich
    Pages 114-116
  11. Walter Olbrich
    Pages 117-117
  12. Walter Olbrich
    Pages 118-126
  13. Back Matter
    Pages 127-127

About this book

Keywords

Energie Entwicklung Fallen Messverfahren Optimierung Orientierung Rauheit Technologie Temperatur Thermisch Verfahren

Authors and affiliations

  • Walter Olbrich
    • 1
  1. 1.Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung (IPA)StuttgartDeutschland

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-642-47892-5
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1994
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-540-58511-4
  • Online ISBN 978-3-642-47892-5
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