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Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik

  • Gerhard Franz

Table of contents

  1. Front Matter
    Pages I-XVII
  2. Gerhard Franz
    Pages 1-3
  3. Gerhard Franz
    Pages 5-25
  4. Gerhard Franz
    Pages 27-53
  5. Gerhard Franz
    Pages 55-75
  6. Gerhard Franz
    Pages 77-111
  7. Gerhard Franz
    Pages 113-156
  8. Gerhard Franz
    Pages 157-193
  9. Gerhard Franz
    Pages 195-211
  10. Gerhard Franz
    Pages 213-259
  11. Gerhard Franz
    Pages 261-306
  12. Gerhard Franz
    Pages 307-380
  13. Gerhard Franz
    Pages 381-412
  14. Gerhard Franz
    Pages 413-417
  15. Gerhard Franz
    Pages 419-487
  16. Gerhard Franz
    Pages 489-494
  17. Gerhard Franz
    Pages 495-496
  18. Back Matter
    Pages 497-543

About this book

Introduction

In diesem Buch werden zunächst die verschiedenen Typen von Plasmen ausführlich beschrieben: Gleichstrom-Entladung, kapazitive und induktive Kopplung mit Radiofrequenz, die magnetfeldunterstützte Anregung mittels Heliconwellen; schließlich noch Ionenstrahlen. Breiten Raum nimmt dann die Plasmadiagnostik ein, die in einem separaten Kapitel mit vier Methoden exemplarisch vorgestellt wird, und in dem die vorher erörterten Methoden zur Plasmaerzeugung unter analytischen Gesichtspunkten diskutiert werden. So haben sich als wichtigste Zielgrößen die Plasmaparameter, Plasmadichte und Elektronentemperatur erwiesen, die im Fokus der Entwicklung von Hochdichteplasmen ab 1980 standen~ vorwärts getrieben vor allem von den Forderungen der Mikrostrukturtechnik, Oberflächen durch Beschichten und gezieltes Abtragen auf vielfältige Weise zu modifizieren. Daher erfolgt anschließend eine umfassende Darstellung der beiden modernen Verfahren Sputtern und Trockenätzen.

Besondere Aufmerksamkeit wird reaktiven Verfahren und den dort auftretenden Reaktionsmechanismen, aber auch der Ionenstrahlmethode, gewidmet, die die breite Palette der Anwendungsmöglichkeiten von Plasmaprozessen erneut erweitert haben, wodurch die Mikrostrukturtechnik zu einer zukunftsweisenden Querschnittstechnologie avanciert ist. Zahlreiche Anwendungsbeispiele sind in den Text eingestreut und illustrieren sowohl den geringen Aufwand als auch die herausragende Umweltverträglichkeit der Mikrostrukturtechnik mit Niederdruckplasmen, die bereits Maßstäbe gesetzt hat und deren Potential kaum hoch genug eingeschätzt werden kann.

Für die Neuauflage wurde vor allem das Kapitel über RF-Entladungen wesentlich erweitert, eines über Plasmadiagnostik hinzugefügt und die Abbildungen auf einen einheitlichen Standard gebracht, dagegen die Abtrennung langer Ableitungen in einen Anhang beibehalten, wodurch insgesamt der Umfang des Buches nur unwesentlich zunahm.

Keywords

Energie Gleichstrom Halbleiter Mikroelektronik Mikrotechnologie Optik Plasmaphysik Simulation Spektroskop Spektroskopie photoelektrochemische Zelle

Authors and affiliations

  • Gerhard Franz
    • 1
  1. 1.Fachbereich 06Fachhochschule MünchenMünchenGermany

Bibliographic information

  • DOI https://doi.org/10.1007/978-3-642-18769-8
  • Copyright Information Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004
  • Publisher Name Springer, Berlin, Heidelberg
  • eBook Packages Springer Book Archive
  • Print ISBN 978-3-642-62284-7
  • Online ISBN 978-3-642-18769-8
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