Book 2004

Mikrosystemtechnik

Konzepte und Anwendungen

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ISBN: 978-3-519-16256-8 (Print) 978-3-322-84878-9 (Online)

Table of contents (6 chapters)

  1. Front Matter

    Pages I-XI

  2. No Access

    Chapter

    Pages 1-10

    Einführung und Begriffsbestimmung

  3. No Access

    Chapter

    Pages 11-60

    Werkstoffe und technologische Grundlagen

  4. No Access

    Chapter

    Pages 61-120

    Mikromechanische Sensoren

  5. No Access

    Chapter

    Pages 121-174

    Aktorik in der Mikrosystemtechnik

  6. No Access

    Chapter

    Pages 175-217

    Optik in der Mikrosystemtechnik

  7. No Access

    Chapter

    Pages 219-256

    Systemtechniken

  8. Back Matter

    Pages 257-292