Literatur
Barz, J.; Haupt, M.; Vohrer, U.; Hilgers, H.; Oehr, C. (2005) Ultrathin carbon-fluorine film processing, Surface and Coating Technology 200 (1-4), 453 ff.
Jacoby, B.; Bock, W.; Haupt, M.; Hilgers, H.; Kopnarski, M.; Molter, J.; Oehr, C.; Rühle, T.; Wahl, M. (2006) Abscheidung, Charakterisierung und Anwendung von Plasma-Polymerschichten auf HMDSO-Basis, Vakuum in Forschung und Praxis 18 (4), 12 ff.
Baier, M. (2009) Ultrabarriereschichten, In: Suchentrunk, R.: Jahrbuch Oberflächentechnik, Bd. 65, Leuze Verlag Bad Saulgau, 109 ff, ISBN 978-3-87480-253-6.
Author information
Authors and Affiliations
Consortia
Rights and permissions
About this article
Cite this article
Springer Fachmedien Wiesbaden. Hohe Barrierewirkung. J Oberfl Techn 54, 28–29 (2014). https://doi.org/10.1365/s35144-014-0285-z
Published:
Issue Date:
DOI: https://doi.org/10.1365/s35144-014-0285-z