Abstract
An overview of active and passive waveguiding thin films fabricated by pulsed laser deposition (PLD) is given. The focus is on materials used, deposition conditions, films characterization and on waveguiding properties. Parameters of lasing layers fabricated by PLD are summarized. Summary of potential applications of optical waveguides is presented.
Similar content being viewed by others
References
M. Jelínek, J. Lančok, J. Šonský, J. Oswald, M. Šimečková, L. Jastrabík, V. Studnička, C. Grivas, and P. H říbek, Czech J. Phys. 48, 577 (1998).
R. Burkhalter, L. Dohnke, and J. Hulliger, Progress in Crystal Growth and Characterization of Mater. 1 (2001).
M. Jelínek, Proc. SPIE 5226, 335 (2003).
M. Jelínek, Czech. J. Physics 53 (2003).
F. Flory and L. Escoubas, Progress Quant. Electron. 28, 89 (2004).
R. W. Eason, S. J. Barrington, C. Grivas, T. C. May-Smith, and D. P. Shepherd, “Optical Waveguide Growth and Applications,” in Pulsed Laser Deposition of Thin Films, Applications- Led Growth of Functional Materials, Ed. by R. Eason (Wiley, 2007), p. 385.
T. Okato, M. Obara, and C. R. Phipps, Laser Ablation and its Applications (Springer, 2007), p. 299.
D. B. Chrisey and G. K. Hubler, Pulsed Laser Deposition of Thin Films (Wiley, 1994).
M. Jelínek, V. Trtik, and L. Jastrabík, “Pulsed Laser Deposition of Thin Films,” in R. Kossowski, M. Jelínek, and J. Novak, Physics and Material Science of High Temperature Superconductors IV, Vol. 26, (NATO Ser., 1997).
D. P. Shepherd, S. J. Hattrick, C. Li, J. I. Mackenzie, R. J. Bench, S. C. Mitchell, and H. E. Meissner, J. Phys. D: Appl. Phys. 34, 2420 (2001).
M. Martino, A. P. Caricato, M. Fernández, G. Leggieri, A. Jha, M. Ferrari, and M. Mattarelli, Thin Solid Films 433, 39 (2003).
S. Guldberg-Kjaer, J. Hubner, M. Kristensen, C. Laurent-Lund, A. Poulsen, M. Rysholt, and M. W. Sckerl, Electron. Lett. 35, 302 (1999).
B. K. Das, M. Suche, and W. Sohler, Appl. Phys. A 73, 439 (2001).
H. Suche, T. Oesselke, J. Pandavenes, R. Rockem, K. Rochhausen, W. Sohler, S. Baldami, I. Montrosset, and K. K. Wong, Electron. Lett. 34, 1228 (1998).
C. Grivas, D. P. Shepherd, T. C. May-Smith, R. W. Eason, M. Pollnau, A. Crunteanu, and M. Jelínek, IEEE J. Quantum Electron. 39, 501 (2003).
C. Grivas, D. P. Shepherd, T. C. May-Smith, and R. W. Eason, Opt. Express 13, 210 (2005).
M. Jelínek, R. W. Eason, J. Lančok, A. A. Anderson, C. Grivas, C. Fotakis, L. Jastrabik, F. Flory, and H. Rigneault, Thin Solid Films 322, 259 (1998).
J. Šonský, J. Lančok, M. Jelínek, J. Oswald, and V. Studnička, Appl. Phys. A 66, 583 (1998).
J. Lančok, M. Jelínek, C. Grivas, F. Flory, E. Lebrasseur, and C. Garapon, Thin Solid Films 346, 284 (1999).
J. Šonsk, M. Jelínek, P. Hříbek, J. Oswald, L. Jastrabík, V. Studnička, C. Fotakis, and C. Grivas, Laser Phys. 8, 285 (1998).
N. A. Vainos, C. Grivas, C. Fotakis, R. W. Eason, A. A. Anderson, D. S. Gill, D. P. Shepherd, M. Jelínek, J. Lančok, and J. Šonský Appl. Surf. Sci. 127–129, 514 (1998).
M. Jelínek, J. Lančok, M. Pavelka, P. A. Atanasov, A. Macková, F. Flory, and C. Garapon, Appl. Phys. A 74, 481 (2002).
M. Jelínek, A. Klini, J. Lančok, V. Studnička, J. Chval, A. Macková, and C. Fotakis, Surf. Coat. Technol. 200, 418 (2002).
P. Nemec, M. Frumar, J. Jedelský, M. Jelínek, J. Lančok, and I. Gregora, J. Non-Crystal. Solids 299–302, 1013 (2002).
P. Nemec, M. Frumar, B. Frumarová, M. Jelínek, J. Lančok, and J. Jedelsk, Opt. Mater. 15, 191 (2000).
P. Nemec, J. Jedelský, M. Frumar, M. Munzar, M. Jelínek, and J. Lančok, J. Non-Cryst. Solids 326–327, 53 (2003).
H. Kim, A. M. C. Grishin, K. V. Rao, S. C. Yu, R. Sbiaa, and H. Gall, IEEE Trans. Magn. 35, 3163 (1999).
J. Yin, Z. C. Wu, Z. Wang, Y. Y. Zhu, and Z. G. Liu, J. Phys. D: Appl. Phys. 31, 3185 (1998).
S. B. Xiong, Z. M. Ye, X. Y. Chen, X. L. Guo, S. N. Zhu, Z. G. Liu, C. Y. Lin, and Y. S. Jin, Appl. Phys. A 67, 313 (1998).
R. I. Tomov, T. K. Kabadjova, P. A. Atanasov, S. Tonchev, M. Kaneva, A. Zherikin, and R. W. Eason, Vacuum 58, 396 (2000).
J. S. Yeo and L. Hesselink, J. Korean Phys. Soc. 32, S1369 (1998).
P. A. Atanasov, R. I. Tomov, J. Perriere, R. W. Eason, N. Vainos, A. Klini, A. Zherikhin, and E. Millon, Appl. Phys. Lett. 76, 2490 (2000).
A. Masuda, S. Morita, H. Shigeno, A. Morimoto, T. Shimizu, J. Wu, H. Yaguchi, and K. Onabe, J. Crystal Growth 189, 227 (1998).
Ch. Buchal, L. Beckers, A. Eckau, J. Schubert, and W. Zander, Mater. Sci. Eng. A 56, 234 (1998).
L. Beckers, Ch. Buchal, D. Fluck, T. Pliska, and P. Gunter, Mater. Sci. Eng. A 253, 292 (1998).
L. Beckers, J. Schubert, W. Zander, J. Ziesmann, A. Eckau, P. Leinenbach, and Ch. Buchal, J. Appl. Phys. 83, 3305 (1998).
T. Okada, Y. Nakata, H. Kaibara, and M. Meada, Jpn. J. Appl. Phys. 34, L1536 (1995).
K. E. Youden, R. W. Eason, M. C. Gower, and N. A. Vainos, Appl. Phys. Lett. 59, 1929 (1991).
K. E. Youden, T. Grevatt, R. W. Eason, H. N. Rutt, R. S. Deol, and G. Wylangowski, Appl. Phys. Lett. 63, 1601 (1993).
D. S. Gill, R. W. Eason, J. Mendiola, and P. J. Chadler, Mater. Lett. 25, 1 (1995).
D. S. Gill, R. W. Eason, C. Zaldo, H. N. Rutt, and N. A. Vainos, J. Non-Crystal. Solids 191, 321 (1995).
D. S. Gill, A. A. Anderson, R. W. Eason, T. J. Warburton, and D. P. Shepherd, Appl. Phys. Lett. 69, 10 (1996).
S. Mailis, Ch. Riziotis, Ji. Wang, E. Taylor, A. A. Anderson, S. J. Barrington, H. N. Rutt, R. W. Eason, N. A. Vainos, and C. Grivas, Opt. Mater. 12, 27 (1999).
S. Mailis, A. A. Anderson, S. J. Barrington, W. S. Brocklesby, R. Greef, H. N. Rutt, R. W. Eason, N. A. Vainos, and C. Grivas, Opt. Lett. 23, 1751 (1998).
T. C. May-Smith, C. Grivas, D. P. Shepherd, R. W. Eason, and M. J. F. Healy, Appl. Surf. Sci. 223, 361 (2004).
M. Jelínek, J. Lancok, A. Deineka, L. Jastrabik, L. Soukup, F. Flory, and L. Escoubas, Ferroelectrics 264, 267 (2001).
J. Schubert, M. Siegert, M. Fardmanessh, W. Zander, M. Prompers, Ch. Buchal, J. Lisoni, and C. H. Lei, Appl. Surf. Sci. 168, 208 (2000).
J. G. Lisoni, M. Siegert, C. H. Lei, W. Biegel, J. Schubert, W. Zander, and Ch. Buchal, Thin Solid Films 389, 219 (2001).
M. De Sario, G. Leggieri, A. Luches, M. Martino, F. Prudenzano, and A. Rizzo, Appl. Surf. Sci. 186, 216 (2002).
A. P. Caricato, M. De Sario, M. Fernández, M. Ferrari, G. Leggieri, A. Luches, M. Martino, M. Montagna, F. Prudenzano, and A. Jha, Appl. Surf. Sci. 208–209, 632 (2003).
A. Pillonnet, C. Garapon, C. Champeaux, C. Bovier, R. Brenier, H. Jaffrezic, and J. Mugnier, Appl. Phys. A 69, S735 (1999).
J. Lancok, C. Garapon, C. Martinet, J. Mugnier, and R. Brenier, Appl. Phys. A 79, 1263 (2004).
J. Lancok, C. Garapon, M. Jelínek, J. Mugnier, and R. Brenier, Appl. Phys. A 81, 1477 (2005).
A. Og. Dikovska, P. A. Atanasov, I. G. Dimitrov, C. Vasilev, T. Kocourek, and M. Jelínek, Appl. Surf. Sci. 252, 4569 (2006).
N. E. Stankova, I. G. Dimitrov, T. R. Stoyanchov, and P. A. Atanasov, Appl. Surf. Sci. 254, 1268 (2007).
M. S. Zhang, Z. Yin, P. Zhang, and J. M. Liu, Microelectron. Eng. 29, 319 (1995).
X. L. Guo, Z. G. Liu, S. N. Zhu, S. B. Xiong, Y. Y. Zhu, and J. M. Liu, J. Cryst. Growth 167, 378 (1996).
X. L. Guo, Z. G. Liu, X. Y. Chen, S. N. Zhu, S. B. Xiong, W. S. Hu, and C. Y. Lin, J. Phys. D: Appl. Phys. 29, 1632 (1996).
C. N. Afonso, J. M. Ballesteros, J. Gonzalo, G. C. Righini, and S. Pelli, Appl. Surf. Sci. 96–98, 760 (1996).
P. L. Pernas, E. Ruíz, M. J. Hernandez, J. Garrido, B. J. Garcia, J. L. Castaño, J. M. Requejo, J. Solis, R. Serna, C. N. Afonso, and J. Piqueras, Microelectron. Eng. 53, 407 (2000).
J. A. Agostineli, G. H. Braunstein, and T. N. Blanton, Appl. Phys. Lett. 63, 123 (1993).
M. Haruna, H. Ishizuki, J. Tautsumi, Y. Shimaoka, and H. Nishihara, Jpn. J. Appl. Phys. 34, 6084 (1995).
L. A. Knauss, K. S. Harshavardhan, M. H. Christen, H. Y. Zhang, X. H. He, Y. H. Shih, K. S. Grabovski, and D. L. Knies, Appl. Phys. Lett. 73, 3806 (1998).
H. Uesuhara, S. Goto, Y. Nakata, N. Vasa, T. Okada, and M. Maeda, Appl. Phys. A 69, S719 (1999).
M. B. Korzenski, P. Lecoeur, B. Mercey, P. Camy, and J. L. Doualan, Appl. Phys. Lett. 78, 1210 (2001).
Ph. Lecoeur, M. B. Korzenski, A. Ambrosini, B. Mercey, and P. Camy, Appl. Surf. Sci. 186, 403 (2002).
A. De Giacomo, V. A. Shakhatov, G. S. Senesi, O. De Pascale, and F. Prudenzano, Appl. Surf. Sci. 186, 533 (2002).
A. Essahlaoui, A. Boudrioua, J. C. Loulergue, R. Chety, E. Milion, and J. Perriere, Opt. Mater. 19, 389 (2002).
A. V. Rode, A. Zakery, M. Samoc, R. B. Charters, E. G. Gamaly, and B. Luther-Davies, Appl. Surf. Sci. 197–198, 481 (2002).
Y. H. Chu, Ch. W. Liang, S. J. Lin, and I. N. Lin, Jpn. J. Appl. Phys. 43, 5409 (2004).
Bin Yang, F. Wang, J. Han, Y. Chen, S. Zhu, Z. Liu, and W. Cao, Thin Solid Films 473, 296 (2005).
X. Wang, Ye. Zhi, and G. B. Zhao, J. Cryst. Growth 306, 62 (2007).
A. A. Anderson, C. L. Bonner, D. P. Shepherd, R. W. Eason, C. Grivas, D. S. Gill, and N. Vainos, Opt. Commun. 144, 183 (1997).
C. L. Bonner, A. A. Anderson, R. W. Eason, D. P. Shepherd, D. S. Gill, C. Grivas, and N. A. Vainos, Opt. Lett. 22, 988 (1997).
A. A. Anderson, R. W. Eason, M. B. Hickley, M. Jelínek, C. Grivas, D. S. Gill, and N. A. Vainos, Opt. Lett. 22, 1556 (1997).
A. A. Anderson, R. W. Eason, M. Jelínek, C. Grivas, D. Lane, K. Rogers, L. M. B. Hickley, and C. V. Fotakis, Thin Solid Films 300, 68 (1997).
S. J. Barrington, T. Bhutta, D. P. Shepherd, and R. W. Eason, Opt. Commun. 185, 145 (2000).
C. Grivas, T. C. May-Smith, D. P. Shepherd, and R. W. Eason, Opt. Commun. 229, 355 (2004).
Author information
Authors and Affiliations
Corresponding author
Additional information
Original Text © Astro, Ltd., 2009.
The article is published in the original.