Literaturhinweise
D. Schulz, "Kontrolle ist besser." JOT Journal für Oberflächentechnik 43.10 (2003): 100-104.
M. Fabich, "Messung der Schichtdicke - Das richtige Verfahren auswählen." JOT Journal für Oberflächentechnik 59.3 (2019): 21-23.
P. Holz, C. Pönisch, A. Brandenburg, "Quantitative Measurement of Fluorescent Layers with Respect to Spatial Thickness Variations and Substrate Properties." Applied spectroscopy 74.4 (2020): 439-451.
P. Holz, A. Brandenburg, "Calibration of systems for quantitative fluorescence analysis of thin layers." Optics express 27.24 (2019): 34559-34581.
P. Holz, A. Brandenburg, "Ortsaufgelöste Messung filmischer Verunreinigungen." JOT Journal für Oberflächentechnik 58.10 (2018): 46-49.
Author information
Authors and Affiliations
Corresponding author
Rights and permissions
About this article
Cite this article
Blättermann, A., Brandenburg, A., Buchta, D. et al. Auch komplexe Bauteile schnell ortsaufgelöst prüfen. J Oberfl Techn 61, 50–53 (2021). https://doi.org/10.1007/s35144-021-1410-4
Published:
Issue Date:
DOI: https://doi.org/10.1007/s35144-021-1410-4