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Fär die vollautomatische Reinigung von Siliziumblöcken in der Wafer-Produktion setzt ein sächsischer Photovoltaik-Hersteller auf ein Reinigungskonzept mit zwei Rundtaktanlagen und einem Handling-Roboter.
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Isenburg, T. Ingot-Reinigung im Rundtakt. J Oberfl Techn 50, 59 (2010). https://doi.org/10.1007/BF03241974
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DOI: https://doi.org/10.1007/BF03241974