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Anlagentechnik für sensible Produkte

Beschichten im Reinraum

  • Anlagen- und Applikationstechnik
  • Published:
JOT Journal für Oberflächentechnik Aims and scope

Zusammenfassung

Die Entwicklung von immer kleineren Strukturen in der Beschichtungstechnik ermöglicht die Applikation von Oberflächen in bisher nicht vorstellbar dünnen Schichtstärken. Durch äußere Einflüsse, aber auch durch eine nicht geeignete Anlagentechnik können diese Oberflächen schon bei der Herstellung teilweise irreparabel beschädigt werden.

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Risse, J. Anlagentechnik für sensible Produkte. J Oberfl Techn 49, 20–23 (2009). https://doi.org/10.1007/BF03241906

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/BF03241906

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