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Prozessintegrierte Messung der Oberflächenreinheit

  • Messen & Prüfen
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JOT Journal für Oberflächentechnik Aims and scope

Zusammenfassung

Mit einer objektiven Messung der Oberflächenreiheit vor Ort können reinheitssensitive Prozessfolgen optimiert und robuster gestaltet werden. Im folgenden Beitrag werden zwei mobile Systeme zur Inline-Messung der Reinheitsgüte vorgestellt.

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  1. OCM — Optische Contaminations-Messverfahren, Unternehmensgruppe TÜV Saarland e.V., Sulzbach/Saar, Deutschland

    Stefan Behrning

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  1. Stefan Behrning
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Behrning, S. Prozessintegrierte Messung der Oberflächenreinheit. J Oberfl Techn 44, 48–50 (2004). https://doi.org/10.1007/BF03240895

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  • DOI: https://doi.org/10.1007/BF03240895

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