Vom IC zum Mikrosystem

Zusammenfassung

Die zweite Silizium-Revolution bright zusätzlich zu den höchstintegrierten Informationsverarbeitungssystemen der Mikroelektronik nichtelektrische Funktionalität auf den gleichen Chip. Chips, die fühlen, denken, agieren und kommunizieren, stehen an der Schwelle einer beginnenden Invasion in alle Lebensbereiche. Der Rückgriff auf die bewährten, kostengünstigen Produktionstechnologien und Fertigungsstätten der Mikroelektronik hat sich als wichtigster Weg bei der breiten Markteinführung der Mikrosystemtechnik erwiesen. Jedoch ist eine Erweiterung der mikroelektronischen Technologien unumgänglich.

Anhand von Mikrosystementwicklungen in der Austria Mikro Systeme Int. werden Probleme und Lösungswege zur Entwicklung von integrierten Mikrosystemen in einer mikroelektronik-kompatiblen Fertigungsumgebung vorgestellt. Vorgestellt werden dabei CMOS-kompatible Produkte wie Magnetosensoren auf der Basis von Hall-Elementen, mechanische Systeme wie Beschleunigungssensoren und spezifische Pre- und Postprocessing-Prozesserweiterungen mit Servicecharakter.

Abstract

Additionally to the very large scale integrated information processing systems, the second Silicon revolution brings non-electrical functions on the same chip. Chips emerge which are able to sense, to think, to act and to communicate. They are beginning to penetrate into all spheres of human life. Low production costs and mature manufacturing technologies are necessary preconditions for the commercial success. Therefore, going back to the well-proven and costefficient microelectronic technologies and production plants was one of the most important ways towards the broad market penetration of microsystems. However, an extension of the microelectronic technologies is inevitable. In the paper, based on the microsystem development activities of Austria Mikro Systeme Int., problems of microsystem development and solutions are presented for a microelectronic compatible manufacturing environment. With it, the paper describes CMOS compatible products like magnetosensor-IC’s based on Hall elements, mechanical systems like acceleration sensors and specific pre-and post-processing process extensions with service possibilities for external organisations.