Initiation pratique à la fabrication de circuits intégrés

Résumé

Cet article présente un jeu de masques conçu pour l’enseignement et son utilisation pour une initiation pratique aux circuits intégrés dans le cadre d’un stage dans un centre de formation en technologie. L’utilisation la plus complète peut consister en une étude préalable de la technologie, des composants et des circuits, une réalisation en salle blanche qui permet aux élèves de «toucher à la matière» (physicochimie simple mais concrète), des mesures et une évaluation des plaquettes réalisées. Une documentation très complète permet d’en tirer le meilleur parti.

Abstract

The authors introduce a set of masks intended for teaching. Its use for an actual introduction to ICs is then described as part of a training session in technology. The comprehensive tool makes it possible to work out an early study of the components, the circuit and the processes involved, to make the students familiar with the pratical aspects of the subject by achieving themselves the different steps of the process in a clean room, to carry out measurements and evaluation of the processed wafers. An exhaustive documentation allows to make the best out of the set.