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Analyse des procédés technologiques appliqués à une structure classique à l’aide du logiciel Titan

Analysis of technical processes applied to a classical structure using Titan software

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Annales Des Télécommunications Aims and scope Submit manuscript

Résumé

Les auteurs présentent un sujet de travaux pratiques destiné à des étudiants de formations très diverses : étudiants en dernière année d’Ecole d’Ingénieur, DESS etDEA. Le sujet fait partie d’une série de travaux pratiques consacrée aux procédés de fabrication des circuits intégrés et plus particulièrement, ici, à leur simulation à l’aide du logiciel Titan 4 implanté sur stations de travail Sun 3 (le parc de stations de travail et le logiciel sont des moyensCNFM). Le logiciel Titan a été développé par leCNET Meylan ; il simule les étapes technologiques classiques telles que les recuits, épitaxie, dépôts, gravure et implantation ionique.

Abstract

We propose materials for practical sessions suitable for students in last year of engineering school and concerning silicon technology. Students learn and use the simulation software Titan designed by theCNET Meylan. Titan deals with process modeling and is able to simulate the main steps in the fabrication of part of integrated circuit as commonly encountered inVSLI design. Titan runs on Sun 3 work stations provided by theCNFM and installed at theCIMIRLY.

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Bibliographie

  1. User’s guide toUNIX 4.5. Bell Laboratories. (1989), 500 p.

  2. Gerodolle (A.), Martin (S.), titan: Simulation tridimensionnelle des procédés de fabrication des circuits intégrés.CNET Grenoble. (1986), 110 p.

  3. Penumalli (B.R.) A Comprehensive two-dimensional vlsi process simulation program, Biceps.IEEE Trans. ED (1983),30, n°9, pp. 986–992.

    Article  Google Scholar 

  4. Sze (S.M.).VLSI Technology. MacGraw-Hill (1988), 675 p.

  5. Vapaille (A.), Castagne (R.). Dispositifs et circuits intégrés semiconducteurs.Dunod. (1987), 572 p.

  6. Boucher (J.), Simonne (J.). Principes et fonctions de l’électronique intégrée.Cepadues-Editions. (1981), tome 2, 272 p.

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Authors and Affiliations

  1. Pôle de Microélectronique de Lyon, cimirly - INSA de Lyon, Bât. 401, 20 avenue Albert Einstein, F-69621, Villeurbanne Cedex

    Bruno Allard, Christian Gontrand & Jean-Pierre Chante

Authors
  1. Bruno Allard
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  2. Christian Gontrand
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  3. Jean-Pierre Chante
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Allard, B., Gontrand, C. & Chante, JP. Analyse des procédés technologiques appliqués à une structure classique à l’aide du logiciel Titan. Ann. Télécommun. 46, 476–480 (1991). https://doi.org/10.1007/BF02998685

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