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Mesure de Résistivité des Couches Épitaxiées de Germanium

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Annales des Télécommunications Aims and scope Submit manuscript

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Ce travail a pour but de présenter une méthode de mesure de résistivité des couches épitaxiées de germanium. Il s’agit d’une mesure nondestructive s’effeciuant sur une surface très petite. A cette fin on a développé théoriquement et expérimentalement deux méthodes: la première utilise les hyperfréquences pour des couches dont la résistivité varie entre 10-3et 3ohm.cm et dont l’épaisseur dépasse la dizaine de microns;la seconde utilise les hautes fréquences pour des résistivités se situant entre 1et 50ohm.cm pour des épaisseurs supérieures à environ 5microns. Par ces deux méthodes on fait des mesures absolues. La première méthode (hyperfréquences) utilise l’atténuation et le déphasage subis par une onde électromagnétique réfléchie par la couche épitaxiée placée à l’extrémité d’un guide d’onde. Deux considérations théoriques différentes, l’une partant de l’électromagnétisme et l’autre de l’optique géométrique, ont abouti au même coefficient de réflexion. Cette méthode permet de déterminer simultanément aussi bien la résistivité que l’épaisseur de la couche épitaxiée. La seconde méthode (hautes fréquences) assimile l’échantillon à une ligne de transmission. En vue de contrôler l’exactitude des résultats, nous avons développé une autre méthode capable de mesurer la résistivité, de 10-6à 103ohm.cm, dans des échantillons homogènes. Nous pouvons évaluer à mieux que 10%la précision de toutes ces méthodes.

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Authors and Affiliations

  1. Département Physique, Chimie, Métallurgie, C. N. E. T., France

    Marcel Bichara

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  1. Marcel Bichara
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Texte d’une thèse soutenue le 9 novembre 1964 devant la Faculté des sciences de Paris pour le titre de docteuringénieur.

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Bichara, M. Mesure de Résistivité des Couches Épitaxiées de Germanium. Ann. Telecommun. 20, 11–35 (1965). https://doi.org/10.1007/BF02995047

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