Zusammenfassung
In Physik und Technik spielen sehr dünne Schichten eine große Rolle. Die Meßverfahren zum Bestimmen der Dicke solcher Schichten im Bereich von einigen hundert mμ bis herab zu einatomigen Betegungen konnten vor allem in den letzten fünf Jahren wesentlich verbessert werden. Hierzu gehören vor allem neue Interferometer-Anordnungen, bei denen man mit Intensitätsausgleich arbeitet bzw. Phasenmessungen durch Intensitätsvergleiche vornimml. Als Anwendungsbeispiele werden u. a. die Dickenmessungen an dünnen Metall- und an Anlaufschichten behandelt.
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Mitteilung aus dem Physikalischen Institut der Universität Erlangen
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Schopper, H. Neuere optische Verfahren zum Bestimmen der Dicke dünnster Schichten, auch Korrosionsschichten. Forsch Ing-Wes 22, 56–62 (1956). https://doi.org/10.1007/BF02592455
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DOI: https://doi.org/10.1007/BF02592455