Skip to main content
Log in

Analyse de traces par utilisation simultanee d'un abraseur ionique et des techniques de reactions nucleaires

  • Microanalyse des Surfaces
  • Published:
Journal of Radioanalytical Chemistry Aims and scope Submit manuscript

Résumé

On associe un faisceau d'ions de basse énergie (abraseur ionique) à un ensemble de microanalyse par observation directe des réactions nucléaires. Le système permet de tracer des profils de concentration par abrasion-comptage. Les résultats obtenus concernent: (a) la mesure des profils d'impureté (bore, phosphore) dans le silicium et le ZnTe. (b) l'étude de la diffusion de l'oxygène sous un flux de neutrons dans le niobium et le nickel.

This is a preview of subscription content, log in via an institution to check access.

Access this article

Price excludes VAT (USA)
Tax calculation will be finalised during checkout.

Instant access to the full article PDF.

Bibliographie

  1. G. AMSEL et al., Nucl. Instr. Methods, 92 (1971) 481.

    Article  CAS  Google Scholar 

  2. A. BONTEMPS, E. LIGEON, Note C.E.A.N-1492.

  3. E. LIGEON, A. BONTEMPS, Communication to International meeting, ‘Chemical Analysis by Charged Particle Bombardment’, Namur (Belgique) 1971, ed. LARN Namur, J. Radioanal. Chem., 12 (1972) 335.

  4. J. P. GARREC et al., (ce Colloque).

  5. D. W. PALMER, Nucl. Instr. Methods. 38 (1965) 187.

    Article  CAS  Google Scholar 

  6. E. LIGEON, A. BONTEMPS, J. FONTENILLE, G. GUERNET, Colloque sur la Microélectronique Avencée, Avril 1970.

  7. R.J. MAC DONALD, D. HANEMAN, J. Appl. Phys. 37 (1966) No. 4 1609, No. 8 3048.

  8. J. MARINE, Thèse, Grenoble 1971.

  9. G. GUERNET, Thèse, Grenoble, 1967.

  10. Ph. ALBERT et al., J. Radioanal. Chem. 1 (1968) 297, 389, 431.

    Article  CAS  Google Scholar 

  11. C. ENGELMANN, Thèse, Rapport C.E.A. R-4072.

  12. A.T.G. FERGUSSON, Communication to International meeting ‘Chemical Analysis by Charged Particle Bombardment’ Namur (Belgique) 1971, ed. LARN Namur, 1971, J. Radioanal. Chem. 12 (1972) 151.

  13. J. MONNIER, Thèse, Grenoble 1971.

  14. E. LIGEON et al., (ce Colloque). J. Radioanal. Chem., 12 (1972) 353.

    Google Scholar 

Download references

Author information

Authors and Affiliations

Authors

Rights and permissions

Reprints and permissions

About this article

Cite this article

Bruel, M., Boissier, M. & Ligeon, E. Analyse de traces par utilisation simultanee d'un abraseur ionique et des techniques de reactions nucleaires. J. Radioanal. Chem. 17, 79–90 (1973). https://doi.org/10.1007/BF02520775

Download citation

  • Issue Date:

  • DOI: https://doi.org/10.1007/BF02520775

Navigation