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Elektromagnetischer Antrieb für den Mikrometer- und Submikrometerbereich

Electromagnetic drive for the micrometer- and submicrometer-range

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Archiv für Elektrotechnik Aims and scope Submit manuscript

Übersicht

Ein neuartiger linearer Antrieb, der es gestattet im Mikrometer- und Submikrometerbereich Positionieraufgaben zu realisieren, wird vorgestellt. Er beruht auf der Anwendung des Schraubgewindereluktanzmotors (Helical-Motor). Dieser wird dreiphasig mit Sinus-Spannungen gespeist. Sie bestehen aus Inkrementen. Hierzu ist ein Pulswechselrichter für 250 kHz erforderlich. Es lassen sich eine Schrittauflösung von 15 nm und eine Positioniergenauigkeit von 100 nm erreichen.

Contents

A new linear drive is considered. It is possible to position in the micrometer- and submicrometer-range. The drive is based on the rectilinear screw-thread motor (Helicalmotor). It is supplied by three-phase sine-voltage. The voltage consists of voltage increments. For this an inverter for 250 kHz is necessary. A step resolution of 15 nm and a accuracy for positioning of 100 nm is achievable.

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Authors and Affiliations

  1. Institut für Starkstromtechnik i. G., Technische Universität Chemnitz, Reichenhainer Str. 70, O-9022, Chemnitz

    P. -K. Budig,  H. Timmel, J. Hofmann, K. Peschke, U. Schuffenhauer & R. Zeumann

Authors
  1. P. -K. Budig
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  2. H. Timmel
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  3. J. Hofmann
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  4. K. Peschke
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  5. U. Schuffenhauer
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  6. R. Zeumann
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Budig, P.K., Timmel, H., Hofmann, J. et al. Elektromagnetischer Antrieb für den Mikrometer- und Submikrometerbereich. Archiv f. Elektrotechnik 74, 403–409 (1991). https://doi.org/10.1007/BF01577461

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