Geschwindigkeitsverteilung der bei der Kathodenzerstäubung von Gold ausgesandten Partikel

Zusammenfassung

Mit Xe- und Ar-Ionen einer Energie von 25 und 50 keV wurde polykristallines Gold beschossen, und die Geschwindigkeitsverteilung der vom Goldtarget ausgesandten Partikel mit einem rotierenden Selektor bis zu einer Teilchengeschwindigkeit von maximal 4·10³ m/sec gemessen. Es wird mit zunehmender Ionenenergie eine vermehrte Teilchenemission im niederenergetischen Bereich des Spektrums beobachtet, die möglicherweise auf einem Abdampfen aus „thermal spikes“ beruht, sich aber nicht mit einer einfachen vonThompson, Nelson undFarmery angegebenen Theorie beschreiben läßt. Eine Extrapolation des Geschwindigkeitsspektrums für den Beschuß mit 50 keV-Xe-Ionen nach höheren Geschwindigkeiten hin liefert eine Grenzgeschwindigkeit von 14,3·10³ m/sec, der eine Energie von 200 eV entspricht. Diese Energie kann als die Fokussierungsenergie für die 110-Richtung eines Goldeinkristalls angesehen werden.