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Zeitschrift für Physik

, Volume 143, Issue 2, pp 141–146 | Cite as

Über die Anwendung der Kathodenzerstäubung bei Elektronenbeugungsuntersuchungen

  • O. Haase
Article

Zusammenfassung

Als Hilfsmittel für die Präparation von Objekten für Elektronenbeugungsuntersuchungen wird eine Kathodenzerstäubungsvorrichtung nach dem Prinzip derPenning-Entladung beschrieben, die gegenüber der üblichen Kathodenzerstäubung mittels Glimmentladung Vorteile besitzt. Sie arbeitet innerhalb der Elektronenbeugungsapparatur und erlaubt es, die Präparate sofort nach der Zerstäubung zu untersuchen.

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Copyright information

© Springer-Verlag 1955

Authors and Affiliations

  • O. Haase
    • 1
  1. 1.Institut für Angewandte Physik der Universität HamburgDeutschland

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