Neue Untersuchungen über die Kathodenzerstäubung

Zusammenfassung

Zu II. Da bei der Kathodenzerstäubung die zerstäubten Mengen nur dann definiert sind, wenn Kathode und Auffangfläche störungsfrei definiert, z. B. unendliche parallele Ebenen sind, wird für ein Normalgefä\, das alle an ein Zerstäubungsgefä\ zu stellenden Bedingungen erfüllt, der Faktor bestimmt, mit welchem die aufgestäubte Menge wegen nicht hinreichender Ausdehnung der Flächen zu multiplizieren ist, um den für unendliche Ebenen gültigen Wert zu erhalten. — Zu III. Wenn an die Kathode die Gefä\wand grenzt, was bei hinreichender Kathodenkühlung unvermeidlich ist, stö\t diese die Entladung elektrostatisch ab. Es entsteht eine an die Gefä\wand grenzende tote Zone auf der Kathode, deren Breite der Dunkelraumdicke proportional ist. Ihre Vernachlässigung führt zu falschen Stromdichteangaben. Ferner saugt sie den Metalldampf aus dem Raum vor der Kathode weg und fälscht dadurch die Zerstäubungsmengen. — Zu IV. Wenn die Metallatome wesentlich schwerer sind als die Gasatome, z. B. Pt in H₂, so ist zu prüfen, ob sie die Kathode mit einer wesentlichen über der Energie der Gasatome liegenden Energie verlassen. In diesem Falle gelten zunächst die einfachen Diffusionsgesetze nicht. Dazu wurde ein Zylinder aus Al-Folie unmittelbar unter die Kathode gestellt. Dann nimmt die Beschlagsdicke der Bestäubung auf ihm nach dem GesetzQ=C e ^−d/r ab, wod der Abstand von der Kathode undr der Radius des Auffangzylinders ist. Wird also dieses Gesetz gefunden, so ist normale Diffusion vorhanden. Im anderen Falle nicht. Es zeigt sich, da\ bis 1000 Volt bei allen untersuchten Metallen schon in geringem Abstand von der Kathode normale Diffusion besteht, die Metallatome aie Kathode also ohne gro\e Energie verlassen, bei 3000 Volt jedoch vielfach noch nicht einmal in 30 cm Abstand von der Kathode.