Über den Öffnungsfehler von elektrostatischen Elektronenlinsen

Zusammenfassung

Der Öffnungsfehler von Elektronenlinsen des elektrostatischen Übermikroskops wird gemessen und berechnet. Zur Messung wird eine Aluminium-Aufdampfschicht in der Gegenstandsebene des zu untersuchenden Objektivs von einem Elektronenstrahl sehr kleiner Öffnung durchstrahlt. Aus der Radiendifferenz zwischen den Debye-Scherrer-Ringen in der Brennebene des Objektivs und den Ringen bei fehlerfreier Linse (ohne Linse) kann der Öffnungsfehler bestimmt werden. Zur Berechnung wird unter Verwendung der empirischen Brennweitenwerte eine Potentlaifunktion aufgestellt und daraus der Fehlerkoeffizient berechnet. Für die untersuchten Einzellinsen mit Brennweiten zwischen 6,2 bis 7,1 mm ergeben Messung und Rechnung übereinstimmend Fehlerzahlen zwischen 60 bis 80 mm. Zur Erzielung der besten Auflösung müssen danach die Aperturblenden in der Brennebene etwa 5/100 mm Durchmesser haben. Als optimales Auflösungsvermögen ergibt sich 0,8 mμ, bei 50 kV Beschleunigungsspannung.