Röntgenpräzisionsuntersuchungen an legierten Germanium-Indium-pn-Übergängen

Zusammenfassung

Es wird über Röntgenpräzisionsuntersuchungen mit der Kompensationsmethode vonKossel undvan Bergen an legierten Ge-In-pn-Übergängen berichtet.

In der Legierungszone ist das Ge-Gitter gegenüber dem Basismaterial um Δa/a₀=3 · 10⁻⁵ aufgeweitet. Daraus ergibt sich eine In-Konzentration von N_In= 6 · 10¹⁸ cm⁻³ in Übereinstimmung mit Werten, die aus Widerstandsmessungen an In-gesättigtem Germanium bekannt sind.

Dien-Zone des legiertenpn-Übergangs ist im Rahmen der Genauigkeit der Methode frei von Gitterstörungen, soweit solche mit der verwendeten Lochkameraanordnung erfaßt werden können.

Der rekristallisierte Teil despn-Übergangs besitzt durchweg die Textur des Basiskristalls, das Gitter ist aber bis unmittelbar an diepn-Grenze heran merklich gestört. Es traten Verwerfungen bis zu 13 Winkelminuten auf.

Die Grenze der Genauigkeit, mit der die untersuchten Kristallbereiche bezüglich derpn- Grenze lokalisiert werden konnten, liegt in der endlichen Eindringtiefe der Röntgenstrahlen begründet und beträgt einige μ.