Quantitative flächenanalyse mit der mikrosonde unter verwendung des energiedispersiven systems

Zusammenfassung

Die Einsatzmöglichkeiten der Mikrosonde in Verbindung mit einem energiedispersiven Röntgenspektrometer (EDS) zur Ausführung quantitativer Durchschnittsanalysen über Flächenbereiche von 50 μm² bis 1 mm² wurden aufgezeigt, wodurch die zwischen Mikrosonde und Makrosonde bestehende Lücke geschlossen ist.

Das EDS wird hinsichtlich seiner Eignung für die ED-Flächenanalyse den wellenlängendispersiven Analysensystemen gegenübergestellt. Zur Abschätzung des statistischen Fehlers der ED-Flächenanalyse wird die Anwendung einer von Wilson beschriebenen Formel vorgeschlagen. Die Ermittlung der für eine gewünschte statistische Genauigkeit zu analysierenden Probenbereiche wird am Beispiel der Cermets gezeigt.

Summary

The employment possibilities of the micro-probe in combination with an energy dispersive Röntgen spectrometer (EDS) for carrying out quantitative average analyses over surface areas from 50 μm² to 1 mm² were shown, whereby the existing gap between micro-probe and macro-probe is closed. The EDS with regard to its suitability for the ED-surface analysis is compared with the wave length-dispersive analysis systems. For estimating the statistical errors of the ED-surface analysis, the use is suggested of a form described by Wilson. The determination of a desired statistical accuracy of a probe range that is to be analyzed is given by means of an example namely that of a sample of Cermet.