Mikrobestimmung von metallischem Aluminium in teiloxydierten Aluminium-Aufdampfschichten und von Siliziummonoxid in Siliziumoxid-Aufdampfschichten

Zusammenfassung

Die Mikrobestimmung von metallischem Aluminium und Siliziummonoxid in dünnen Aufdampfschichten wurde beschrieben. Bei der Umsetzung mit starken Laugen wird eine äquivalente Menge Wasserstoff freigesetzt. Diese wird mit einer Töpplerpumpe gesammelt und dann gaschromatographisch in einer Wärmeleitfähigkeitszelle gemessen. Fremdgase werden an einer Molekularsiebsäule abgetrennt. Fehlergrenze, Genauigkeit und Empfindlichkeit des Verfahrens werden erörtert.

Summary

A description is given for the microdetermination of metallic aluminum and silicon monoxide in thin films condensed from the vapor phase. Byreaction with strong bases an equivalent amount of hydrogen is evolved. This is pumped off, collected by means of “Töpler pump” and determined by gas chromatography using a thermal conductivity cell. Other gases are separated by means of a 2 m molecularsieve column. Limit of error, accuracy and sensitivity of this method are discussed.