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Oberflächenuntersuchungen von Isolatoren mit der Auger-Elektronenspektroskopie

AES analysis of insulators

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Microchimica Acta Aims and scope Submit manuscript

Zusammenfassung

Die Auger-Elektronenspektroskopie (AES) wird vornehmlich für die Oberflächenanalyse metallischer Materialien und von Halbleitern verwendet, Untersuchungen von Nichtleitern, wie Katalysatoren, Glas, Keramik und andere, werden vor allem durch den Einfluß des primären Elektronenstrahls auf die Veränderung der Zusammensetzung der analysierten Oberfläche und durch ihre elektrostatische Aufladung während der Analyse erschwert.

Durch eine besondere Probenvorbereitung, bei der nichtleitende Materialien in eine elektrisch leitfähige Silberpaste eingebettet wurden, und durch eine entsprechende Auswahl der Analysenparameter kann ein elektrostatisches Aufladen während der AES-Analyse verhindert werden. Gezeigt werden Auger-Elektronenspektren der Oberfläche von Zeolithen, pigmentierten Dispersionsfilmen, Mineralwolle, Zement, Fresken und Nierensteinen.

Summary

Auger electron spectroscopy is the analytical method, mostly used for surface analysis of metals and semiconductors, but has also become more often used to analyse insulators such as catalysts, glass and ceramic. Analysis of insulators with AES is usually interfered with an electrostatic charging effect and because of the influence of the primary electron beam on the change of the composition of the surface being analysed.

The charging of non-metallic materials during the AES anlaysis has been overcome by means of specially prepared samples being laid in an electrically conductive silver paint and suitably chosen operating parameters. Auger spectra of catalysts, pigmented copolymeric films, mineral wool, cement, fresco and renal stone are presented.

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Authors and Affiliations

  1. Inštitut za elektroniko in vakuumsko tehniko, Ljubljana, Jugoslawien

    A. Zalar

Authors
  1. A. Zalar
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Grenzflächenprobleme V, IEVT-MPI, Ljubljana, 15.–16. 4. 1980.

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Zalar, A. Oberflächenuntersuchungen von Isolatoren mit der Auger-Elektronenspektroskopie. Mikrochim Acta 73, 435–444 (1980). https://doi.org/10.1007/BF01196330

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