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Thermische Bearbeitung mit Mikrobildern, die durch elektronenoptische Verkleinerung einer Schablone hergestellt sind

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  • Physik und Physikalische Chemie
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Literatur

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Heisig, U. Thermische Bearbeitung mit Mikrobildern, die durch elektronenoptische Verkleinerung einer Schablone hergestellt sind. Naturwissenschaften 53, 15–16 (1966). https://doi.org/10.1007/BF00607618

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